TOKYO KEISO東京計裝 玻璃管浮子流量計TOKYO KEISO東京計裝 玻璃管浮子流量計

TOKYO KEISO 東京計裝 P 系列

玻璃管面積式（轉子）流量計｜半導體吹掃 / 小流量氣體液體通用

一、測量原理

二、主要型號與用途（半導體常用）

1. 主力通用型：P?810（市場用量最大）

• 細分：P?810?08、P?810?15、P?810?30、P?810?50

• 用途：N?吹掃、氣體旁路、純水小流量、藥液目視監測

• 接液材質：玻璃管 + SUS316L / 氟樹脂浮子

2. 微小流量型

• P?010、P?050、P?100、P?200、P?300、P?400、P?510、P?530、P?540、P?550

  用于極微小氣體 / 液體，設備微吹掃、微量藥液監測

3. 樹脂防腐型

• P?060：全樹脂結構，耐強酸強堿，適配 HCl、HI、HF 腐蝕流體

4. 大流量 / 特殊型

• P?610、P?710、P?820、P?831、P?900

三、核心規格

• 測量介質：氣體、液體均可

• 精度：±2% FS（工業標準，目視流量計主流精度）

• 耐壓：最高 0.5 MPa

• 溫度：5～60 ℃

• 接液材質：硼硅玻璃、SUS316L、PFA/PTFE（防腐款）

• 安裝：垂直安裝，自帶安裝支架

• 輸出：純機械直讀，可選配限位開關、報警輸出

四、核心特點

1. 可視流量：直接看浮子位置，簡單直觀，無電氣故障

2. 無電源、免維護，適合 24 小時連續運行

3. 耐腐蝕版本齊全，適配半導體腐蝕氣體 / 藥液

4. 日系原廠，潔凈室等級，機臺標配

5. 體積小巧，安裝簡單，性價比高

五、典型應用場景

• SiC、晶圓設備氮氣吹掃、氣路旁路流量監測

• HCl、HI、HF 微量腐蝕氣體 / 液體目視監控

• 超純水 DIW、清洗藥液小流量監測

• 真空設備、檢漏、分析儀器輔助流量指示