TOKYO KEISO東京計裝流量玻璃管轉(zhuǎn)子流量計TOKYO KEISO東京計裝流量玻璃管轉(zhuǎn)子流量計

TOKYO KEISO 東京計裝 NE 系列

微小流量玻璃管轉(zhuǎn)子流量計（超微型面積式流量計）

一、測量原理

二、常用型號（半導體主流）

• NE?015?08?S

• NE?040?10?4

• NE?040?15?S

• NE?080?30?4

• NE?080?40?S

量程特點

三、核心技術規(guī)格

• 精度：±2%FS

• 耐壓：0.5 MPa

• 流體溫度：5～60℃

• 接液材質(zhì)：硼硅玻璃管、SUS316L、PTFE 浮子（耐腐蝕）

• 適配介質(zhì)：N?、Ar、HCl、HI、HF、超純水、各類微量藥液

• 安裝：垂直安裝，面板 / 管路安裝均可

• 可選：限位開關、流量報警輸出

四、產(chǎn)品特點

1. 超微小流量：比 P 系列更小，適合微量吹掃、旁路監(jiān)控

2. 死體積極小，潔凈度高，適配半導體 UHP 超高純氣路

3. 浮子可選用 PTFE 材質(zhì)，耐HCl、HI、鹵素等強腐蝕氣體

4. 結(jié)構(gòu)緊湊，體積小，適合設備內(nèi)部狹小空間

5. 無電源、免維護，穩(wěn)定可靠，日系原廠品質(zhì)

五、典型應用

• SiC、第三代半導體、晶圓設備微量氮氣吹掃

• HCl、HI 等腐蝕氣體旁路、微量泄漏監(jiān)測

• 超純水、清洗藥液微小流量目視指示

• 真空設備、分析儀器、檢漏裝置微流量監(jiān)控