TOKYO KEISO東京計(jì)裝 玻璃管浮子流量計(jì)TOKYO KEISO東京計(jì)裝 玻璃管浮子流量計(jì)

TOKYO KEISO 東京計(jì)裝 P 系列

玻璃管面積式（轉(zhuǎn)子）流量計(jì)｜半導(dǎo)體吹掃 / 小流量氣體液體通用

一、測(cè)量原理

二、主要型號(hào)與用途（半導(dǎo)體常用）

1. 主力通用型：P?810（市場(chǎng)用量最大）

• 細(xì)分：P?810?08、P?810?15、P?810?30、P?810?50

• 用途：N?吹掃、氣體旁路、純水小流量、藥液目視監(jiān)測(cè)

• 接液材質(zhì)：玻璃管 + SUS316L / 氟樹脂浮子

2. 微小流量型

• P?010、P?050、P?100、P?200、P?300、P?400、P?510、P?530、P?540、P?550

  用于極微小氣體 / 液體，設(shè)備微吹掃、微量藥液監(jiān)測(cè)

3. 樹脂防腐型

• P?060：全樹脂結(jié)構(gòu)，耐強(qiáng)酸強(qiáng)堿，適配 HCl、HI、HF 腐蝕流體

4. 大流量 / 特殊型

• P?610、P?710、P?820、P?831、P?900

三、核心規(guī)格

• 測(cè)量介質(zhì)：氣體、液體均可

• 精度：±2% FS（工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，目視流量計(jì)主流精度）

• 耐壓：最高 0.5 MPa

• 溫度：5～60 ℃

• 接液材質(zhì)：硼硅玻璃、SUS316L、PFA/PTFE（防腐款）

• 安裝：垂直安裝，自帶安裝支架

• 輸出：純機(jī)械直讀，可選配限位開(kāi)關(guān)、報(bào)警輸出

四、核心特點(diǎn)

1. 可視流量：直接看浮子位置，簡(jiǎn)單直觀，無(wú)電氣故障

2. 無(wú)電源、免維護(hù)，適合 24 小時(shí)連續(xù)運(yùn)行

3. 耐腐蝕版本齊全，適配半導(dǎo)體腐蝕氣體 / 藥液

4. 日系原廠，潔凈室等級(jí)，機(jī)臺(tái)標(biāo)配

5. 體積小巧，安裝簡(jiǎn)單，性價(jià)比高

五、典型應(yīng)用場(chǎng)景

• SiC、晶圓設(shè)備氮?dú)獯祾摺饴放月妨髁勘O(jiān)測(cè)

• HCl、HI、HF 微量腐蝕氣體 / 液體目視監(jiān)控

• 超純水 DIW、清洗藥液小流量監(jiān)測(cè)

• 真空設(shè)備、檢漏、分析儀器輔助流量指示