一、基礎信息

核心特點

1. 超高允許背壓（核心賣點）

   內置側路噴射輔助噴嘴，臨界背壓遠高于普通 SD 直噴型，前級真空波動時泵不會停止工作，無懼間斷放氣、腔體大量出氣工況。

2. 極低油返流

   油蒸氣回流量≤7×10??～2×10?? g/min?cm2，搭配擋油板可大幅減少鍍膜腔體污染。

3. 鑄鋁一體式加熱器

   加熱均勻，不容易燒斷，可長期連續 24 小時不間斷運行，維護周期長。

4. SUS304 全不銹鋼泵體

   耐水汽、弱腐蝕性工藝氣體，水冷夾套恒溫，真空性能不受水溫、環境溫度影響。

5. 真空度雙檔位可選

• 標配油 NEOVAC SX（SH-704）：極限真空 3×10?? Pa

• 更換 DC-705 高真空油：極限真空可達 4×10?? Pa（加熱功率提升 20%~45%）。

6. 法蘭統一日系 JIS 標準

   可直接對接 SV-L/SNV-L 直角真空閥，管路配套無縫銜接。

二、SD-H 全型號 + 技術參數表

備注：SD-H 系列僅覆蓋中小主流口徑，大口徑高抽速機型僅保留 SD 標準直噴款。

三、SD-H（側噴）VS SD（標準直噴）核心區別

1. 背壓耐受

   SD-H 臨界背壓≈8Pa；普通 SD 僅 13Pa 以內極易熄火，前級泵輕微漏氣就停機。

2. 適用工況

   SD-H：間斷放氣、腔體放氣量大、含水汽、真空爐頻繁啟停；

   SD 直噴：連續穩定抽氣、鍍膜機穩定蒸發工況。

3. 能耗

   同等口徑下，SD-H 加熱功率略高，換取穩定不中斷排氣。

4. 價格：SD-H 側噴機型高于同口徑 SD 標準型。

四、可選配件

1. 真空油：SH-704 常規油、DC-705 超高真空低返流油

2. 水冷擋油擋板、液氮冷阱（抑制油蒸氣返流）

3. 過熱保護溫控開關、水溫監測組件

4. 配套閥門：SV-L 手動閥、SNV-L 氣動真空擋板閥（同品牌 JIS 法蘭成套匹配）

五、行業工藝應用

1. 真空熱處理行業（優選 SD-H）

   真空退火爐、釬焊爐、燒結爐，工件加熱釋放大量氣體，前級壓力波動大，側噴結構可以保證泵持續工作，不會斷真空。

2. 間歇式蒸鍍 / 蒸發設備

   批量鍍膜機，開門進氣后再次抽真空，大放氣工況下機組運行更穩定。

3. 凍干、真空脫泡設備

   物料析出大量水汽，側噴擴散泵抗負載能力更強。

4. 實驗室高真空腔體、電子束設備

   頻繁啟停、間斷排氣的科研真空系統。

5. SiC 晶圓鍍膜、金屬蒸鍍產線

   工藝氣體波動大，優先選用 SD-H 側噴款保障真空穩定性。