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| 參考價(jià) | ¥2888-¥999999 | /件 |
參考價(jià):¥2888 ~ ¥999999
更新時(shí)間:2026-07-14 14:06:01瀏覽次數(shù):25評價(jià)
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| 價(jià)格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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MIYUKI美幸輝 AB 系列 氣動(dòng) L 型真空閥
MIYUKI美幸輝 AB 系列 氣動(dòng) L 型真空閥
AB / ABR:SUS316L 焊接金屬波紋管軸封(你詢問的 AB 系列為此類)
閥桿全金屬波紋管隔離大氣與真空腔體,無橡膠動(dòng)密封摩擦、無粉塵析出、低出氣;極限真空可達(dá) 10??Pa,閥體可 200℃高溫烘烤除氣,漏率≤1×10?1?Pa?m3/s,適配高純工藝、超高真空、高溫腔體。
AE / AER:FKM 氟橡膠 O 型圈軸封(經(jīng)濟(jì)型)
中真空工況,極限 10??Pa,最高耐溫 150℃,不可高溫烘烤,成本更低。
R:內(nèi)置氣缸緩沖結(jié)構(gòu),啟閉減震靜音,減少閥座沖擊、延長壽命(ABR = 帶緩沖波紋管款,AB = 基礎(chǔ)波紋管款)
N:KF (NW) 快拆卡箍法蘭(通用干式泵管路)
J:JIS 日標(biāo)螺栓法蘭(日系鍍膜爐、真空設(shè)備原廠標(biāo)配)
C:CF 刀口無氧銅金屬密封法蘭(科研超高真空、氦檢設(shè)備)
示例型號:AB-N25 / ABR-J100 / ABR-C63
口徑覆蓋:16A~250A 全規(guī)格
驅(qū)動(dòng)氣缸
16A~50A:支持單作用(彈簧復(fù)位)/ 雙作用,可選常開 / 常閉;
80A~250A:僅雙作用氣缸;
驅(qū)動(dòng)氣源:0.4~0.6MPa 潔凈干燥壓縮空氣;可選 DC24V 配套電磁閥、NPN/PNP 閥位磁感應(yīng)反饋開關(guān),直連 PLC 自動(dòng)化聯(lián)控。
材質(zhì)
閥體:SUS304 不銹鋼,內(nèi)腔電解鏡面拋光,低放氣、無油污殘留;
波紋管:SUS316L;閥座密封:FKM 氟橡膠;
真空性能
工作壓力區(qū)間:大氣壓 ~ 10?? Pa(超高真空);
整機(jī)外漏率≤1×10?1? Pa?m3/s;
雙向耐反壓:真空側(cè) / 大氣側(cè)反向承壓均可可靠密封,分子泵前端、主抽管路通用;
壽命
16A~50A:≥50 萬次啟閉;
80A~250A:≥10 萬次啟閉;
耐溫:腔體最高烘烤 200℃(波紋管優(yōu)勢,O 圈 AE 系列僅 150℃上限)。
全金屬波紋管潔凈密封
無橡膠軸封往復(fù)摩擦,不會(huì)產(chǎn)生微粒、無有機(jī)揮發(fā)物,適配半導(dǎo)體晶圓、光學(xué)鍍膜、高純特種氣體工藝,杜絕腔體污染。
L 型流線內(nèi)腔、大通導(dǎo)
直角平滑流道,氣流阻力極低,抽氣速率快,縮短腔體預(yù)抽時(shí)間,提升設(shè)備稼動(dòng)率。
多法蘭標(biāo)準(zhǔn)兼容
KF 快拆、JIS 日標(biāo)、CF 金屬刀口法蘭全覆蓋,日系進(jìn)口設(shè)備、國產(chǎn)真空機(jī)組、科研腔體均可直接替換。
自動(dòng)化配套
氣缸緩沖、閥位信號反饋、配套電磁閥一站式選配,適配全自動(dòng)真空產(chǎn)線。
雙向耐壓不串氣
任意安裝姿態(tài),真空 / 大氣雙向壓差下密封穩(wěn)定,可做隔斷閥、旁路閥、分子泵保護(hù)閥。
真空鍍膜(主力應(yīng)用)
PVD 磁控濺射、ITO 導(dǎo)電膜、光學(xué)蒸鍍、電子束蒸發(fā)設(shè)備,分子泵入口主切斷閥、高真空腔體主抽閥;
半導(dǎo)體 / 光伏
PECVD、刻蝕、晶圓鍍膜腔體隔離、氦檢檢漏系統(tǒng)、高純工藝氣切斷;
鋰電新材料
固態(tài)電池高溫?zé)Y(jié)爐、真空熱處理釬焊爐;
科研 / 航天
空間環(huán)境模擬艙、高溫材料試驗(yàn)爐、質(zhì)譜儀、超高真空實(shí)驗(yàn)室;
真空機(jī)組配套
干式泵、羅茨泵、分子泵成套設(shè)備隔斷保護(hù)閥。
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