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| 參考價 | ￥2888-￥999999 | /件 |
參考價：￥2888 ~ ￥999999
更新時間：2026-07-14 16:32:29瀏覽次數(shù)：75評價
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| 價格區(qū)間 | 面議 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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MIYUKI美幸輝 氣動真空排氣 / 破空閥
MIYUKI美幸輝 氣動真空排氣 / 破空閥
IV 系列：常開型（NO）：無驅(qū)動氣源時閥門自動打開、持續(xù)破空；通氣供氣時關(guān)閉隔絕大氣
IP 系列：常閉型（NC）：無驅(qū)動氣源時閥門保持關(guān)閉、鎖死腔體真空；通氣供氣時開啟進氣破空
IV = Normal Open 常開破空閥（斷氣自動泄壓）
IP = Normal Close 常閉破空閥（斷氣保真空）
P15：Φ15 儀表螺紋口，適配真空計、小型測壓端口
NXX：KF/NW 快拆卡箍法蘭（N25=NW25/KF25）
FXX：ISO-F 方形法蘭（F38=ISO-F38）
| 參數(shù)項 | 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 |
|---|---|
| 內(nèi)置節(jié)流孔徑 | Φ4（固定微量緩流，不可手動調(diào)開度） |
| 驅(qū)動方式 | 氣動驅(qū)動 + 彈簧復(fù)位單作用 |
| 驅(qū)動氣源壓力 | 0.4~0.6MPa 潔凈干燥壓縮空氣 |
| 整機外漏率 | ≤1×10?? Pa·m3/s |
| 適用真空區(qū)間 | 常壓 10?Pa ~ 中真空 10??Pa |
| 閥體材質(zhì) | SUS304 不銹鋼，內(nèi)腔拋光 |
| 密封材質(zhì) | FKM 氟橡膠 O 圈軸封（同 AE 經(jīng)濟型結(jié)構(gòu)，無波紋管） |
| 最高耐溫 | 閥體 150℃，不可 200℃高溫烘烤 |
| 適用介質(zhì) | 干燥空氣、氮氣惰性氣體 |
| 結(jié)構(gòu)外形 | L 型小型立式閥體，輕量化易安裝 |
油式旋片真空泵配套：設(shè)備停機斷氣源，閥門自動打開向泵側(cè)緩慢泄壓，防止泵油壓差倒灌污染腔體，替代 PER 電磁防返油閥的氣動方案；
簡易實驗室真空艙、小型真空脫泡設(shè)備；
無安全真空鎖止要求，停機必須自動泄壓的設(shè)備。
光學(xué)鍍膜、晶圓制程精密腔體：停電 / 斷氣時嚴(yán)禁自動破真空，防止粉塵、水汽污染工件；
全自動量產(chǎn)真空設(shè)備，僅 PLC 指令觸發(fā)才執(zhí)行破空工序；
氦檢檢漏設(shè)備、高純氣體真空管路，需要穩(wěn)定鎖止真空。
| 對比項目 | IV 系列（常開 NO） | IP 系列（常閉 NC） |
|---|---|---|
| 無氣源狀態(tài) | 閥門打開，自動破空泄壓 | 閥門關(guān)閉，鎖死腔體真空 |
| 斷氣風(fēng)險 | 停機自動泄壓，適合油泵防返油 | 斷氣保真空，無意外破空風(fēng)險 |
| 工藝安全性 | 簡易設(shè)備，無工件保護需求 | 半導(dǎo)體 / 光學(xué)精密腔體優(yōu)選 |
| 核心用途 | 旋片泵配套防油返流、簡易真空設(shè)備 | 自動化鍍膜、晶圓、氦檢精密腔體 |
IV/IP：單一微量破空，僅 Φ4 固定小孔，無抽氣功能，只做大氣導(dǎo)入；
AEH 三位置 L 閥：可全關(guān) / 小開度預(yù)抽 / 全開，同時具備抽真空 + 分段破空雙功能，通流大，適合腔體主管路；
搭配方案：主管路用 AE/AER 隔斷閥，旁路加裝 IV/IP 做專用緩破空，分工明確、控制穩(wěn)定。
光學(xué)小型蒸鍍、磁控濺射設(shè)備腔體旁路破空；
半導(dǎo)體檢測、氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)；
油旋片泵真空機組防油倒灌配套；
鋰電真空清洗、小型真空燒結(jié)、脫泡設(shè)備；
實驗室教學(xué)真空艙、材料試驗腔體。
超高真空 10??Pa 以下、200℃高溫烘烤腔體（需波紋管 ABR 系列）；
需要大通流抽氣、分段預(yù)抽工藝（選用 AEH 可調(diào)閥）；
大流量快速破空工況（需搭配大通徑 L 閥旁路）。
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