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| 參考價 | ¥2888-¥999999 | /件 |
參考價:¥2888 ~ ¥999999
更新時間:2026-07-14 14:06:39瀏覽次數:40評價
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| 價格區間 | 面議 | 應用領域 | 綜合 |
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MIYUKI美幸輝 AB 系列 氣動 L 型真空閥
MIYUKI美幸輝 AB 系列 氣動 L 型真空閥
AB / ABR:SUS316L 焊接金屬波紋管軸封(你詢問的 AB 系列為此類)
閥桿全金屬波紋管隔離大氣與真空腔體,無橡膠動密封摩擦、無粉塵析出、低出氣;極限真空可達 10??Pa,閥體可 200℃高溫烘烤除氣,漏率≤1×10?1?Pa?m3/s,適配高純工藝、超高真空、高溫腔體。
AE / AER:FKM 氟橡膠 O 型圈軸封(經濟型)
中真空工況,極限 10??Pa,最高耐溫 150℃,不可高溫烘烤,成本更低。
R:內置氣缸緩沖結構,啟閉減震靜音,減少閥座沖擊、延長壽命(ABR = 帶緩沖波紋管款,AB = 基礎波紋管款)
N:KF (NW) 快拆卡箍法蘭(通用干式泵管路)
J:JIS 日標螺栓法蘭(日系鍍膜爐、真空設備原廠標配)
C:CF 刀口無氧銅金屬密封法蘭(科研超高真空、氦檢設備)
示例型號:AB-N25 / ABR-J100 / ABR-C63
口徑覆蓋:16A~250A 全規格
驅動氣缸
16A~50A:支持單作用(彈簧復位)/ 雙作用,可選常開 / 常閉;
80A~250A:僅雙作用氣缸;
驅動氣源:0.4~0.6MPa 潔凈干燥壓縮空氣;可選 DC24V 配套電磁閥、NPN/PNP 閥位磁感應反饋開關,直連 PLC 自動化聯控。
材質
閥體:SUS304 不銹鋼,內腔電解鏡面拋光,低放氣、無油污殘留;
波紋管:SUS316L;閥座密封:FKM 氟橡膠;
真空性能
工作壓力區間:大氣壓 ~ 10?? Pa(超高真空);
整機外漏率≤1×10?1? Pa?m3/s;
雙向耐反壓:真空側 / 大氣側反向承壓均可可靠密封,分子泵前端、主抽管路通用;
壽命
16A~50A:≥50 萬次啟閉;
80A~250A:≥10 萬次啟閉;
耐溫:腔體最高烘烤 200℃(波紋管優勢,O 圈 AE 系列僅 150℃上限)。
全金屬波紋管潔凈密封
無橡膠軸封往復摩擦,不會產生微粒、無有機揮發物,適配半導體晶圓、光學鍍膜、高純特種氣體工藝,杜絕腔體污染。
L 型流線內腔、大通導
直角平滑流道,氣流阻力極低,抽氣速率快,縮短腔體預抽時間,提升設備稼動率。
多法蘭標準兼容
KF 快拆、JIS 日標、CF 金屬刀口法蘭全覆蓋,日系進口設備、國產真空機組、科研腔體均可直接替換。
自動化配套
氣缸緩沖、閥位信號反饋、配套電磁閥一站式選配,適配全自動真空產線。
雙向耐壓不串氣
任意安裝姿態,真空 / 大氣雙向壓差下密封穩定,可做隔斷閥、旁路閥、分子泵保護閥。
真空鍍膜(主力應用)
PVD 磁控濺射、ITO 導電膜、光學蒸鍍、電子束蒸發設備,分子泵入口主切斷閥、高真空腔體主抽閥;
半導體 / 光伏
PECVD、刻蝕、晶圓鍍膜腔體隔離、氦檢檢漏系統、高純工藝氣切斷;
鋰電新材料
固態電池高溫燒結爐、真空熱處理釬焊爐;
科研 / 航天
空間環境模擬艙、高溫材料試驗爐、質譜儀、超高真空實驗室;
真空機組配套
干式泵、羅茨泵、分子泵成套設備隔斷保護閥。