一、品牌與產(chǎn)品定位

• AB：金屬波紋管、無(wú)氣缸緩沖；

• ABR：金屬波紋管、氣缸自帶緩沖減震（R=Relief 緩沖結(jié)構(gòu)）；

• AE/AER：FKM O 圈軸封經(jīng)濟(jì)型，無(wú)波紋管，僅中真空使用。

二、型號(hào)分段釋義（示例：ABR-J50）

1. ABR

   A=L 型角閥；B = 金屬波紋管軸封；R = 氣缸內(nèi)置氣墊緩沖機(jī)構(gòu)

2. 法蘭后綴

• N：KF (NW) 快拆卡箍法蘭，拆裝便捷；

• J：JIS 日標(biāo)螺栓法蘭，日系鍍膜機(jī)、真空爐原裝標(biāo)配；

• C：CF 刀口無(wú)氧銅金屬密封法蘭，超高真空氦檢、長(zhǎng)期烘烤場(chǎng)景；

3. 數(shù)字：公稱(chēng)通徑 16A~250A（DN16~DN250）

三、核心結(jié)構(gòu)與材質(zhì)

1. 閥體：SUS304 不銹鋼，內(nèi)腔鏡面電解拋光，低放氣、無(wú)積塵死角，無(wú)塵車(chē)間裝配氦檢；

2. 軸封核心（區(qū)別 AE）

   SUS316L 多層焊接金屬波紋管，隔離真空腔體與大氣側(cè)；無(wú)往復(fù)摩擦橡膠軸封，零微粒析出、極低有機(jī)揮發(fā)；

3. 閥座密封：FKM 氟橡膠，耐水汽、常規(guī)酸堿、鍍膜工藝氣體；

4. 執(zhí)行氣缸：鋁合金氣動(dòng)氣缸，兩端內(nèi)置氣墊緩沖，開(kāi)關(guān)減速減震；

5. 波紋管：全金屬焊接，無(wú)易損 O 型軸封，長(zhǎng)期高真空無(wú)外泄。

四、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)

1. 真空性能

• 工作區(qū)間：大氣壓～10?? Pa 超高真空；

• 整機(jī)外漏率：≤1×10?1? Pa?m3/s；

• 雙向承壓：真空側(cè) / 大氣側(cè)壓差均可可靠密封，任意角度安裝。

2. 溫度耐受

• 閥體最高烘烤溫度：200℃（支持腔體整體高溫除氣，AE 系列僅 150℃）；

• 選配磁感應(yīng)開(kāi)關(guān)環(huán)境上限 70℃，不可高溫烘烤氣缸部位。

3. 氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)

• 驅(qū)動(dòng)氣源：0.4~0.6MPa 潔凈干燥壓縮空氣；

• 16A~50A：?jiǎn)巫饔脧椈蓮?fù)位（常開(kāi) / 常閉可選）、雙作用氣缸；

• 80A~250A：僅雙作用氣缸；

• 緩沖特性：氣缸行程兩端氣墊緩沖，大幅降低閥座沖擊噪音，延長(zhǎng)密封壽命。

4. 使用壽命

• 16A~50A 小口徑：≥50 萬(wàn)次啟閉；

• 80A~250A 中大口徑：≥10 萬(wàn)次啟閉；

  波紋管動(dòng)密封終身無(wú)需更換，僅閥座 FKM 為常規(guī)易損件。

5. 可選配件

五、ABR 核心優(yōu)勢(shì)（對(duì)比 AB、AER）

1. 金屬波紋管潔凈密封

   無(wú)橡膠軸封摩擦，不產(chǎn)生粉塵、低放氣，適配晶圓、光學(xué)膜等高潔凈制程，杜絕腔體污染；

2. 內(nèi)置氣缸緩沖（ABR ）

   開(kāi)關(guān)動(dòng)作柔和*，減少閥座撞擊損耗，相比無(wú)緩沖 AB 系列，密封使用壽命提升 40% 以上，適合高頻連續(xù)自動(dòng)化產(chǎn)線(xiàn)；

3. 200℃高溫烘烤能力

   可配合腔體高溫除氣，適配長(zhǎng)期高真空、高純工藝工況；O 圈款 AER 不支持高溫烘烤；

4. L 型大流通流道

   直角平滑內(nèi)腔，氣流阻力極低，抽氣速率更快，縮短腔體預(yù)抽時(shí)間，提升設(shè)備稼動(dòng)；

5. 多法蘭標(biāo)準(zhǔn)全覆蓋

   KF 快拆、JIS 日標(biāo)、CF 金屬法蘭可選，日系進(jìn)口設(shè)備、國(guó)產(chǎn)真空機(jī)組、實(shí)驗(yàn)室腔體均可直接替換原裝閥門(mén)。

六、適用行業(yè)與工況（優(yōu)先選 ABR）

1. 光學(xué) / ITO 鍍膜設(shè)備

   PVD 磁控濺射、電子束蒸鍍主抽閥、分子泵前端隔斷閥（高頻開(kāi)關(guān)，緩沖減少震動(dòng)損傷膜層）；

2. 半導(dǎo)體制造

   PECVD、刻蝕、晶圓鍍膜腔體、氦質(zhì)譜檢漏系統(tǒng)、高純特種氣體管路；

3. 高溫真空熱處理

   鋰電固態(tài)電池?zé)Y(jié)爐、真空釬焊爐、材料高溫試驗(yàn)艙（需 200℃烘烤腔體）；

4. 科研航天真空設(shè)備

   空間環(huán)境模擬艙、超高真空實(shí)驗(yàn)室、質(zhì)譜儀隔離閥；

5. 日系進(jìn)口設(shè)備替換

   原裝 MIYUKI 鍍膜機(jī)、真空爐原配 JIS 法蘭閥，替換無(wú)需修改安裝開(kāi)孔。

不適用場(chǎng)景（可選經(jīng)濟(jì)型 AER）