一、品牌與產品定位

型號命名規則（示例：AEH-N25）

1. AEH

   AE=FKM O 型圈軸封經濟型 L 閥；H=Hold 中途限位 / 可調節流功能

2. 法蘭后綴

• N：KF (NW) 快拆卡箍法蘭（AEH 僅提供 KF 法蘭，無 JIS/CF 大口徑）

3. 數字：公稱通徑，僅覆蓋16A/25A/40A/50A（最大 DN50，無 80A 以上大口徑）

二、核心結構與材質

1. 閥體：SUS304 不銹鋼，內腔電解鏡面拋光，90°L 型平滑流道，雙向承壓、任意角度安裝

2. 軸封系統（同 AE/AER）

   閥桿動密封采用FKM 氟橡膠 O 圈，無金屬波紋管；結構簡單、維保便宜，但閥桿往復摩擦會微量析出粉塵，放氣高于 AB/ABR 波紋管系列

3. 氣缸核心差異化結構

   氣缸上下兩端帶可調限位螺絲，可機械鎖定三個位置：全關→中間節流開度→全開；內置緩沖減震，開關沖擊小

4. 閥座密封：FKM 氟橡膠，耐水汽、常規鍍膜工藝氣體

三、關鍵技術參數

四、AEH 核心優勢

1. 三檔位機械限位，可控緩抽 / 緩破空

   可手動調節中間節流開口大小：

• 抽真空階段：停在小開度緩慢預抽，防止氣流揚塵污染晶圓、光學膜、粉體工件；

• 破空泄壓階段：中途緩慢進氣，避免氣壓沖擊導致工件移位、腔體粉塵飛揚；

  普通 AE/AER 只能全開直抽、直放，極易造成腔體污染。

2. 管路簡化，降低設備成本

   無需額外加裝小型微調破空閥，單臺 AEH 同時承擔切斷 + 節流調壓功能，減少閥件、電磁閥、管路接頭。

3. 經濟型 O 圈結構，維護簡單

   無波紋管精密焊接件，采購價遠低于 ABR；僅 FKM 密封圈為易損件，現場快速更換。

4. KF 快裝法蘭，拆裝便捷

   全系標配 NW 卡箍法蘭，實驗室、小型鍍膜機管路通用，檢修拆卸無需打孔改管路。

五、適用行業與工況（優先選用 AEH）

1. 中小型光學鍍膜設備

   小型蒸鍍、濺射腔體預抽 + 破空閥，保護光學鏡片、ITO 薄膜不被氣流沖污；

2. 實驗室真空腔體、氦檢小型試驗艙

   需要分段調壓、緩慢恢復大氣壓的科研裝置；

3. 鋰電小型真空燒結、真空清洗設備

   粉體原料腔體，防止破空揚塵污染物料；

4. 干式泵粗抽旁路、小型真空包裝機

   需要柔和抽放氣、避免工件飛濺的自動化設備。

不適用場景（不可選 AEH）

1. 半導體晶圓制程、高純特種氣體管路（O 圈析出粉塵，需 ABR 波紋管）；

2. 需要 200℃高溫烘烤除氣的腔體；

3. 超高真空（10??Pa 以下）工況；

4. DN80 及以上大口徑主抽隔斷閥（AEH 最大僅 DN50）。