一、品牌與產(chǎn)品定位

型號(hào)命名規(guī)則（示例：AEH-N25）

1. AEH

   AE=FKM O 型圈軸封經(jīng)濟(jì)型 L 閥；H=Hold 中途限位 / 可調(diào)節(jié)流功能

2. 法蘭后綴

• N：KF (NW) 快拆卡箍法蘭（AEH 僅提供 KF 法蘭，無(wú) JIS/CF 大口徑）

3. 數(shù)字：公稱(chēng)通徑，僅覆蓋16A/25A/40A/50A（最大 DN50，無(wú) 80A 以上大口徑）

二、核心結(jié)構(gòu)與材質(zhì)

1. 閥體：SUS304 不銹鋼，內(nèi)腔電解鏡面拋光，90°L 型平滑流道，雙向承壓、任意角度安裝

2. 軸封系統(tǒng)（同 AE/AER）

   閥桿動(dòng)密封采用FKM 氟橡膠 O 圈，無(wú)金屬波紋管；結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、維保便宜，但閥桿往復(fù)摩擦?xí)⒘课龀龇蹓m，放氣高于 AB/ABR 波紋管系列

3. 氣缸核心差異化結(jié)構(gòu)

   氣缸上下兩端帶可調(diào)限位螺絲，可機(jī)械鎖定三個(gè)位置：全關(guān)→中間節(jié)流開(kāi)度→全開(kāi)；內(nèi)置緩沖減震，開(kāi)關(guān)沖擊小

4. 閥座密封：FKM 氟橡膠，耐水汽、常規(guī)鍍膜工藝氣體

三、關(guān)鍵技術(shù)參數(shù)

四、AEH 核心優(yōu)勢(shì)

1. 三檔位機(jī)械限位，可控緩抽 / 緩破空

   可手動(dòng)調(diào)節(jié)中間節(jié)流開(kāi)口大小：

• 抽真空階段：停在小開(kāi)度緩慢預(yù)抽，防止氣流揚(yáng)塵污染晶圓、光學(xué)膜、粉體工件；

• 破空泄壓階段：中途緩慢進(jìn)氣，避免氣壓沖擊導(dǎo)致工件移位、腔體粉塵飛揚(yáng)；

  普通 AE/AER 只能全開(kāi)直抽、直放，極易造成腔體污染。

2. 管路簡(jiǎn)化，降低設(shè)備成本

   無(wú)需額外加裝小型微調(diào)破空閥，單臺(tái) AEH 同時(shí)承擔(dān)切斷 + 節(jié)流調(diào)壓功能，減少閥件、電磁閥、管路接頭。

3. 經(jīng)濟(jì)型 O 圈結(jié)構(gòu)，維護(hù)簡(jiǎn)單

   無(wú)波紋管精密焊接件，采購(gòu)價(jià)遠(yuǎn)低于 ABR；僅 FKM 密封圈為易損件，現(xiàn)場(chǎng)快速更換。

4. KF 快裝法蘭，拆裝便捷

   全系標(biāo)配 NW 卡箍法蘭，實(shí)驗(yàn)室、小型鍍膜機(jī)管路通用，檢修拆卸無(wú)需打孔改管路。

五、適用行業(yè)與工況（優(yōu)先選用 AEH）

1. 中小型光學(xué)鍍膜設(shè)備

   小型蒸鍍、濺射腔體預(yù)抽 + 破空閥，保護(hù)光學(xué)鏡片、ITO 薄膜不被氣流沖污；

2. 實(shí)驗(yàn)室真空腔體、氦檢小型試驗(yàn)艙

   需要分段調(diào)壓、緩慢恢復(fù)大氣壓的科研裝置；

3. 鋰電小型真空燒結(jié)、真空清洗設(shè)備

   粉體原料腔體，防止破空揚(yáng)塵污染物料；

4. 干式泵粗抽旁路、小型真空包裝機(jī)

   需要柔和抽放氣、避免工件飛濺的自動(dòng)化設(shè)備。

不適用場(chǎng)景（不可選 AEH）

1. 半導(dǎo)體晶圓制程、高純特種氣體管路（O 圈析出粉塵，需 ABR 波紋管）；

2. 需要 200℃高溫烘烤除氣的腔體；

3. 超高真空（10??Pa 以下）工況；

4. DN80 及以上大口徑主抽隔斷閥（AEH 最大僅 DN50）。