一、產品定位

• PER：電磁驅動防返流 L 閥

• N：KF (NW) 快拆卡箍法蘭

• 數字：公稱通徑 25A (NW25)、40A (NW40)（全系僅 2 個口徑）

二、核心工作原理

1. 泵運行（線圈通電）

   電磁線圈吸合閥芯，閥門全開，腔體→真空泵正常抽氣；內部微破空機構鎖止，無空氣倒灌腔體。

2. 泵停機（線圈斷電）

   彈簧復位快速切斷腔體與泵管路；內置延時泄壓結構：先向真空泵側緩慢通入大氣，泵腔升壓、阻止油被壓差吸入腔體；腔體側全程保持真空，不泄壓、不進氣。

3. 控制邏輯：電磁閥與真空泵電源同步聯動，無需額外 PLC 邏輯，接線簡單。

三、四大核心特性

1. 免氣源電磁驅動

   不依賴 0.4~0.6MPa 壓縮空氣，只有供電就能控制，小型實驗室、桌面式鍍膜機優選；電壓可選 DC24V、AC100V、AC200V。

2. 一體式內置微破空泄壓閥

   集成慢放氣結構，不用額外加裝獨立破空閥，簡化管路布局、減少接頭泄漏點。

3. 延時防倒灌保護

   內部時序機構保證：先給泵側通大氣，再關閉腔體通路，杜絕旋片泵停機負壓吸油污染鏡片、晶圓、工件。

4. KF 標準快裝法蘭

   NW25/NW40 通用卡箍連接，拆裝檢修便捷，可直接替換同口徑日系 / 國產 KF 真空閥。