Fujikin富士金 NEW-MEGA 直接式金屬隔膜閥
Fujikin富士金 NEW-MEGA 直接式金屬隔膜閥

一、產品線分類（驅動 + 流路形式）

1）氣動型（自動化設備主流）

• FPR 系列：常閉 NC（失氣關閉，常用）

• FP 系列：常開 NO（失氣打開）

執行器驅動氣壓標準：0.4～0.6 MPa

• 流路形態

• ND：直通二通閥

• NDTB：三通切換閥

• UDDF：兩段式氣動閥（預開 + 全開，吹掃微量控制）

2）手動型（FUND / FUNDLTB）

• FUND：直通二通手動隔膜閥

• FUNDLTB：三通手動隔膜閥帶開閉指示手柄，支持面板安裝。

3）NEW-MEGA MINI（緊湊型迷你款）

體積縮小，分為 HA 高壓型、LA 低壓型，空間受限設備選用。

二、型號命名規則（范例：FPR-ND-71G-6.35-2）

FPR    = 氣動常閉；FP=氣動常開；FUND=手動ND     = 直通二通；NDTB=三通；UDDF=兩段式71     = 閥體系列代碼（標準低壓1MPa）；721=高壓規格G      = 接口形式（UJR/VCR金屬密封）6.35   = 管徑：6.35mm(1/4") /9.52(3/8") /12.7(1/2")2      = Cv流量代碼后綴選項：EP = 電解拋光(標準 Ra≤0.25μm)UP = 超拋光 Ra≤0.07μm（12寸、SiC制程）NL = Non-Lube 無潤滑超高潔凈PA/PCTFE/PI = 閥座材質

三、基礎技術規格

1. 接液材質

• 閥體：SUS316L / SUS316LP

• 隔膜：鎳鈷合金金屬隔膜（抗疲勞、低發塵）

• 閥座：標準 PCTFE；可選 PI / PFA

2. 壓力等級

• 71 系列標準：Max 1.0 MPa

• 721 高壓系列：最高 20.5 MPa

3. 溫度范圍：-10℃ ～ +80℃（標準 PCTFE 閥座）

4. 泄漏等級：氦檢漏，內外極低泄漏，適配真空系統

5. 潔凈規格：出廠禁油、無顆粒處理

6. 循環壽命

• 標準氣動閥 ≥400 萬次

• MINI 小型款 ≥300 萬次

7. 連接接口UJR（富士金標準 VCR 等效金屬密封）、F900、自動焊 BW

8. Cv 范圍：0.1 ~ 0.65（隨通徑、流道結構變化）

四、核心優勢（選型關鍵點）

1. 零死區流道直接隔膜結構，流體無滯留死角，置換性能優異，適合有毒 / 腐蝕性特種氣體（SiH?、NH?、HCl、Cl?、HF）

2. 低微粒產生金屬隔膜無滑動摩擦，滿足 Class1 潔凈室，適配 8/12 寸晶圓、第三代半導體 SiC/GaN 產線

3. 金屬密封兼容真空可長期用于高真空管路，同時兼容高純惰性氣體、可燃、腐蝕性特氣

4. 緊湊結構氣體面板密集排布，節省安裝空間

5. 材質耐蝕廣譜兼容絕大多數半導體電子氣體