Fujikin富士金 MEGA 系列 直接式金屬隔膜閥
Fujikin富士金 MEGA 系列 直接式金屬隔膜閥

一、產品線完整分類

1）氣動型（自動化）

• FPR-ND：氣動常閉 NC（失氣關閉，通用）

• FP-ND：氣動常開 NO（失氣打開）

• FPR-NDTB / FP-NDTB：氣動三通切換閥

??初代 MEGA原生沒有 UDDF 兩段式型號！兩段結構是后期 NEW-MEGA 新增

2）手動型

• FUND：標準流量直通二通手動閥

• FUNDL：Low-flow 低 Cv 小流量手動閥

• FUNDLTB：三通手動切換閥

3）MEGA-MINI LA（緊湊型迷你 MEGA）

縮小體積版本，空間受限面板使用，同樣區分氣動 NC/NO。

二、型號命名范例

FPR-ND-71G-6.35-2

FPR = 氣動常閉；FP=氣動常開；FUND/FUNDL=手動ND = 二通直通；NDTB=三通71 = 標準低壓閥體（Max 1.0MPa）G = UJR(VCR)金屬密封接口6.35 = 管徑 6.35mm(1/4")；9.52(3/8")；12.7(1/2")2 = Cv流量代碼可選后綴：EP 電解拋光(標準 Ra≤0.25μm)UP 超拋光 Ra≤0.07μmNL Non-Lube無潤滑潔凈規格PI/PCTFE 閥座材質

三、核心技術規格（和 NEW-MEGA 材質基準一致）

1. 接液材質閥體：SUS316L / SUS316LP隔膜：鎳鈷合金金屬隔膜閥座：標準 PCTFE；可選 PI 耐高溫、耐強腐蝕

2. 壓力等級71 系列標準：1.0 MPa；721 高壓規格最高 20.5MPa

3. 使用溫度：-10℃ ~ +80℃（PCTFE 閥座）

4. 驅動氣源：0.4～0.6 MPa 潔凈干燥空氣

5. 氦泄漏標準外漏 / 閥座泄漏：≤5×10?12 Pa?m3/s

6. 循環壽命6.35 規格 ≥300 萬次；9.52 規格 ≥200 萬次

?對比：NEW-MEGA 優化提升至≥400 萬次

7. 接口：UJR (VCR)、F900、自動焊接 BW

四、MEGA（老款） VS NEW-MEGA（新款）【選型重中之重】

表格

??重要提醒：新項目優先采購 NEW-MEGA；只有老設備維修備件，才選用 MEGA 原型號。

五、核心產品特點

1. 直接隔膜結構，無滑動部件，低微粒產生，適配高純 / 腐蝕性特氣（HCl、HF、硅烷、鹵素氣體）

2. 全金屬密封，兼顧真空工況與壓力管路

3. 禁油出廠，滿足半導體潔凈室要求

4. 三通型號可實現吹掃、隔離、旁路氣路切換

六、典型應用場景

1. 老舊半導體刻蝕、CVD 設備備件替換

2. 早期特氣柜 VMB 氣體面板

3. 光伏、面板產線存量設備維修

4. 實驗室高純腐蝕氣體管路