Fujikin富士金 NEW-MEGA 直接式金屬隔膜閥
Fujikin富士金 NEW-MEGA 直接式金屬隔膜閥

一、產(chǎn)品線分類（驅(qū)動(dòng) + 流路形式）

1）氣動(dòng)型（自動(dòng)化設(shè)備主流）

• FPR 系列：常閉 NC（失氣關(guān)閉，常用）

• FP 系列：常開(kāi) NO（失氣打開(kāi)）

執(zhí)行器驅(qū)動(dòng)氣壓標(biāo)準(zhǔn)：0.4～0.6 MPa

• 流路形態(tài)

• ND：直通二通閥

• NDTB：三通切換閥

• UDDF：兩段式氣動(dòng)閥（預(yù)開(kāi) + 全開(kāi)，吹掃微量控制）

2）手動(dòng)型（FUND / FUNDLTB）

• FUND：直通二通手動(dòng)隔膜閥

• FUNDLTB：三通手動(dòng)隔膜閥帶開(kāi)閉指示手柄，支持面板安裝。

3）NEW-MEGA MINI（緊湊型迷你款）

體積縮小，分為 HA 高壓型、LA 低壓型，空間受限設(shè)備選用。

二、型號(hào)命名規(guī)則（范例：FPR-ND-71G-6.35-2）

FPR    = 氣動(dòng)常閉；FP=氣動(dòng)常開(kāi)；FUND=手動(dòng)ND     = 直通二通；NDTB=三通；UDDF=兩段式71     = 閥體系列代碼（標(biāo)準(zhǔn)低壓1MPa）；721=高壓規(guī)格G      = 接口形式（UJR/VCR金屬密封）6.35   = 管徑：6.35mm(1/4") /9.52(3/8") /12.7(1/2")2      = Cv流量代碼后綴選項(xiàng)：EP = 電解拋光(標(biāo)準(zhǔn) Ra≤0.25μm)UP = 超拋光 Ra≤0.07μm（12寸、SiC制程）NL = Non-Lube 無(wú)潤(rùn)滑超高潔凈PA/PCTFE/PI = 閥座材質(zhì)

三、基礎(chǔ)技術(shù)規(guī)格

1. 接液材質(zhì)

• 閥體：SUS316L / SUS316LP

• 隔膜：鎳鈷合金金屬隔膜（抗疲勞、低發(fā)塵）

• 閥座：標(biāo)準(zhǔn) PCTFE；可選 PI / PFA

2. 壓力等級(jí)

• 71 系列標(biāo)準(zhǔn)：Max 1.0 MPa

• 721 高壓系列：最高 20.5 MPa

3. 溫度范圍：-10℃ ～ +80℃（標(biāo)準(zhǔn) PCTFE 閥座）

4. 泄漏等級(jí)：氦檢漏，內(nèi)外極低泄漏，適配真空系統(tǒng)

5. 潔凈規(guī)格：出廠禁油、無(wú)顆粒處理

6. 循環(huán)壽命

• 標(biāo)準(zhǔn)氣動(dòng)閥 ≥400 萬(wàn)次

• MINI 小型款 ≥300 萬(wàn)次

7. 連接接口UJR（富士金標(biāo)準(zhǔn) VCR 等效金屬密封）、F900、自動(dòng)焊 BW

8. Cv 范圍：0.1 ~ 0.65（隨通徑、流道結(jié)構(gòu)變化）

四、核心優(yōu)勢(shì)（選型關(guān)鍵點(diǎn)）

1. 零死區(qū)流道直接隔膜結(jié)構(gòu)，流體無(wú)滯留死角，置換性能優(yōu)異，適合有毒 / 腐蝕性特種氣體（SiH?、NH?、HCl、Cl?、HF）

2. 低微粒產(chǎn)生金屬隔膜無(wú)滑動(dòng)摩擦，滿足 Class1 潔凈室，適配 8/12 寸晶圓、第三代半導(dǎo)體 SiC/GaN 產(chǎn)線

3. 金屬密封兼容真空可長(zhǎng)期用于高真空管路，同時(shí)兼容高純惰性氣體、可燃、腐蝕性特氣

4. 緊湊結(jié)構(gòu)氣體面板密集排布，節(jié)省安裝空間

5. 材質(zhì)耐蝕廣譜兼容絕大多數(shù)半導(dǎo)體電子氣體