一、晶圓制造企業（真空泵核心采購方）

（一）中國大陸晶圓廠

1. 中芯國際

? 核心業務：14nm/7nm 先進邏輯芯片、12 英寸晶圓代工，覆蓋成熟制程與先進制程

? 真空泵應用場景：EUV 光刻、干法刻蝕、CVD/ALD 薄膜沉積、離子注入、晶圓清洗、去膠全工藝

? 適配泵型：干式螺桿泵、磁懸浮分子泵、低溫泵、超高真空組合機組

? 合作真空供應商：中科科儀、愛德華、普發、萊寶

2. 長江存儲

? 核心業務：3D NAND 閃存芯片研發、12 英寸晶圓量產

? 真空泵應用場景：閃存晶圓薄膜沉積、刻蝕、清洗、鍵合工藝

? 適配泵型：干式真空泵、超高真空機組、耐腐蝕真空泵

? 合作真空供應商：中科科儀、普旭、萊寶

3. 華虹半導體

? 核心業務：90nm-28nm 特色工藝、功率半導體、12 英寸晶圓制造

? 真空泵應用場景：CMOS 工藝、功率器件制程、刻蝕與薄膜沉積環節

? 適配泵型：干式螺桿泵、羅茨干泵

? 合作真空供應商：中科科儀、浙江萊斯特、愛德華

4. 長鑫存儲

? 核心業務：DRAM 內存芯片研發、12 英寸晶圓量產

? 真空泵應用場景：電容沉積、刻蝕、離子注入、晶圓檢測

? 適配泵型：干式真空泵、磁懸浮分子泵

? 合作真空供應商：萊寶、普旭、中科科儀

二、半導體設備廠商（真空泵配套集成方）

1. 北方華創

? 核心設備：刻蝕機、CVD/PVD 薄膜沉積設備、晶圓清洗機

? 真空泵應用：設備內置真空系統、工藝腔體抽真空、尾氣處理

? 適配泵型：干式螺桿泵、分子泵、羅茨泵

? 合作真空供應商：中科科儀、漢鐘精機、通嘉宏瑞

2. 中微公司

? 核心設備：干法刻蝕機、MOCVD 設備

? 真空泵應用：刻蝕反應腔真空、工藝氣體抽排、腔體清潔

? 適配泵型：干式真空泵、耐腐蝕真空機組

? 合作真空供應商：愛德華、普發、中科科儀

3. 屹唐半導體

? 核心設備：半導體刻蝕機、去膠機、薄膜沉積設備

? 真空泵應用：工藝腔體真空維持、尾氣回收處理

? 適配泵型：干式螺桿泵、羅茨干泵

? 合作真空供應商：中科科儀、通嘉宏瑞

4. 拓荊科技

? 核心設備：PECVD/ALD/SACVD 薄膜沉積設備

? 真空泵應用：沉積腔體高真空環境搭建、工藝氣體抽離

? 適配泵型：干式真空泵、磁懸浮分子泵

? 合作真空供應商：普發、愛德華、中科科儀

三、半導體封測企業（真空泵批量使用方）

1. 長電科技

? 核心業務：先進封裝、2.5D/3D 封裝、傳統芯片封測

? 真空泵應用：晶圓鍵合、TSV 通孔、真空封裝、氣密性氦檢

? 適配泵型：無油渦旋泵、羅茨泵、小型干式泵

? 合作真空供應商：中科科儀、漢鐘精機、普旭

? 合作真空供應商：中科科儀、通嘉宏瑞、普發

5. 積塔半導體

? 核心業務：特色工藝晶圓、模擬芯片、功率半導體制造

? 真空泵應用場景：晶圓前道制程、封裝前預處理

? 適配泵型：干式螺桿泵、無油渦旋泵

? 合作真空供應商：中科科儀、漢鐘精機

（二）中國臺灣晶圓廠

1. 臺積電

? 核心業務：3nm/2nm 全球**xian進制程、邏輯芯片代工

? 真空泵應用場景：全制程真空工藝，涵蓋光刻、刻蝕、沉積、離子注入全環節

? 適配泵型：超高真空分子泵、低溫泵、干式干泵

? 合作真空供應商：愛德華、普發、萊寶、荏原

2. 聯電

? 核心業務：28nm-90nm 成熟制程、功率 / 模擬芯片代工

? 真空泵應用場景：刻蝕、薄膜沉積、晶圓清洗

? 適配泵型：干式真空泵、羅茨真空機組

? 合作真空供應商：普旭、萊寶、中科科儀（逐步導入）

（三）國際頭部晶圓廠

1. 三星半導體

? 核心業務：3nm GAA 先進制程、DRAM/NAND 閃存、12 英寸晶圓制造

? 真空泵應用場景：全制程真空工藝、先進封裝制程

? 適配泵型：磁懸浮分子泵、干式螺桿泵、超高真空機組

? 合作真空供應商：愛德華、普發、荏原

2. SK 海力士

? 核心業務：DRAM/NAND 閃存芯片量產

? 真空泵應用場景：薄膜沉積、刻蝕、芯片檢測、封裝前工藝

? 適配泵型：干式真空泵、超高真空機組

2. 華天科技

? 核心業務：晶圓級封裝、芯片測試、傳統封測

? 真空泵應用：探針臺真空吸附、封裝脫氣、可靠性測試

? 適配泵型：渦旋泵、羅茨泵、隔膜泵

? 合作真空供應商：中科科儀、通嘉宏瑞

3. 通富微電

? 核心業務：**芯片封測、AI 芯片封裝、芯片測試

? 真空泵應用：倒裝焊真空腔、封裝檢漏、真空烘烤

? 適配泵型：分子泵、干式螺桿泵、渦旋泵

? 合作真空供應商：愛德華、中科科儀、萊寶

四、半導體材料及配套企業

1. 上海新陽

? 核心業務：電子化學品、光刻膠、特種半導體材料

? 真空泵應用：材料真空精餾、溶劑回收、氣體提純

? 適配泵型：耐腐蝕干式泵、羅茨機組

? 合作真空供應商：漢鐘精機、通嘉宏瑞

2. 安集科技

? 核心業務：CMP 拋光液、半導體專用電子材料

? 真空泵應用：材料真空干燥、粉體處理、溶劑脫除

? 適配泵型：無油渦旋泵、小型干式泵

? 合作真空供應商：中科科儀、普旭

五、半導體領域核心真空泵供應商

（一）國產核心供應商

1. 中科科儀（中科儀）：國內半導體真空龍頭，14nm 制程干式泵批量落地，覆蓋中芯國際、長江存儲等頭部晶圓廠

2. 漢鐘精機：干式螺桿泵優勢顯著，切入長鑫存儲、積塔半導體供應鏈，兼顧光伏與半導體市場

3. 通嘉宏瑞：專注半導體干式泵及配套零部件，服務長鑫、長存等存儲芯片企業

4. 浙江萊斯特：半導體專用干式泵，供貨華虹半導體、英飛凌等企業

（二）國際頭部供應商

1. 愛德華（Edwards）：全球半導體真空市占率**，供貨臺積電、三星、中芯國際全產業鏈

2. 普發（Pfeiffer）：分子泵領域龍頭，**刻蝕、沉積設備標配供應商

3. 萊寶（Leybold）：干式泵與分子泵雙產品線，三星、SK 海力士核心合作伙伴

4. 普旭（Busch）：干式螺桿泵優勢明顯，成熟制程、封測領域市占率**

六、清單說明

1. 晶圓制造企業為真空泵**需求方，對超高真空、無油潔凈、低振動要求嚴苛，采購量與單價雙高；

2. 半導體設備廠商為真空泵配套集成方，設備出廠前完成真空系統組裝，需求量穩定；

3. 封測及材料企業為真空泵大眾需求方，以中低端、高性價比泵型為主，批量采購