一、品牌背景

• 全稱：荏原制作所 EBARA CORPORATION，1912 年成立，日本泵業long頭企業

• 真空泵業務：深耕干式螺桿 / 爪式 / 渦旋式干泵，半導體、精密制造領域認可度ji高

• 定位：中**日系干式真空泵，對標愛發科 ULVAC、Kashiyama 樫山、ANEST IWATA 巖田

二、核心類型與結構（主流 3 大系列）

1. 爪式干式真空泵（主流：EV-A / EV-P 系列）

• 結構：雙爪轉子，無接觸、無油、無摩擦

• 特點：耐粉塵、耐水汽、耐輕微腐蝕，抽氣平穩，維護簡單

• 適用：一般工業、鍍膜、包裝、電子、中小型半導體制程

2. 螺桿式干式真空泵（DS / DVS 系列，半導體主力）

• 結構：雙螺桿轉子，大抽速、高真空、耐高溫

• 特點：大流量、排氣穩定、抗化學腐蝕，可用于嚴苛工藝

• 適用：半導體刻蝕、沉積、清洗、光伏、鋰電、化工、高潔凈制程

3. 渦旋式干泵（小型：VS 系列）

• 小型靜音，抽速小，用于實驗室、分析儀器、檢漏、小型設備

三、核心優勢（荏原干泵賣點）

1. 完quan無油真空：無潤滑油進入腔體，排氣潔凈，不污染工藝腔體

2. 耐腐蝕性能強：轉子 / 腔體特殊涂層，適配酸堿、水汽、腐蝕性氣體

3. 穩定性高、故障率低：日系精工，長壽命，連續 24 小時運行穩定

4. 低噪音、低振動，對精密設備友好

5. 易維護：結構簡單，易拆裝，備件通用性強

6. 可配套尾氣處理、防爆、變頻、防腐等定制版本

四、主要應用行業

1. 半導體：晶圓制程、刻蝕、PVD/CVD、清洗、離子注入、檢測設備

2. 新能源：鋰電池注液、真空烘烤、光伏鍍膜、氫能設備

3. 精密制造：真空鍍膜、注塑脫泡、檢漏、焊接、熱處理

4. 化工醫藥：溶劑回收、蒸餾、負壓輸送、防爆真空系統

5. 科研實驗室：高真空實驗、材料測試。