一、品牌背景

• 1919 年創(chuàng)立于英國，百年真空專業(yè)廠商

• 2014 年被瑞典阿特la斯?科普柯收購，現(xiàn)在屬于阿特la斯旗下真空事業(yè)部

• 全球布局，中國上海設(shè)有工廠，國內(nèi)半導(dǎo)體晶圓廠、面板廠、**光伏**品牌

• 定位：**、精密、潔凈、長壽命，半導(dǎo)體前道制程占有率ji高

二、主流干式真空泵系列（*常用）

1. iH 系列（半導(dǎo)體主力，螺桿干式泵）

• 結(jié)構(gòu)：無油雙螺桿干泵

• 特點：高抽速、高耐腐蝕、水汽 / 粉塵耐受性強(qiáng)、潔凈度ji高

• 用途：刻蝕、CVD、PVD、離子注入、晶圓清洗、**光伏

2. GV 系列（爪式干泵，工業(yè)通用爆款）

• 爪式轉(zhuǎn)子，無油、無接觸

• 優(yōu)點：穩(wěn)定、維護(hù)簡單、性價比高

• 用途：鍍膜、鋰電、脫泡、檢漏、一般工業(yè)真空

3. nX 系列（新一代半導(dǎo)體智能干泵）

• 智能監(jiān)控、變頻、防腐加強(qiáng)、超低振動

• 面向先進(jìn)制程 7nm/28nm 晶圓廠，**制程標(biāo)配

4. 油式旋片泵（E2M 系列）

• 經(jīng)典實驗室、檢漏、小型真空設(shè)備用，價格親民

5. 分子泵、羅茨泵、真空系統(tǒng)組件

三、核心優(yōu)勢（對比荏原 EBARA）

1. 半導(dǎo)體認(rèn)可度*高：全球頭部晶圓廠標(biāo)配，潔凈度、穩(wěn)定性**

2. 防腐、抗化學(xué)氣體能力ji強(qiáng)，適配氟化物、酸堿氣體

3. 智能化程度高：自帶狀態(tài)監(jiān)測、故障預(yù)警、遠(yuǎn)程診斷

4. 噪音、振動控制優(yōu) 秀，適配精密設(shè)備

5. 全球售后網(wǎng)絡(luò)wan善，備件供應(yīng)穩(wěn)定

四、荏原 EBARA vs Edwards 簡單對比

• Edwards 愛德華：gao端精密、半導(dǎo)體前道shou選，價格偏高，智能化強(qiáng)

• EBARA 荏原：日系耐用、耐粉塵、性價比更好，多用于半導(dǎo)體后道、光伏、鋰電、工業(yè)大流量

五、主要應(yīng)用