干式真空泵的特點
在半導體制造工藝以及對潔凈度要求ji高的FPD、LED和太陽能電池制造工藝中，干式真空泵是bu可或que的設備。近年來，由于其能夠輕松地為質譜儀和電子顯微鏡等分析儀器提供潔凈的排氣，干式真空泵的應用范圍不斷擴大。此外，其潔凈的真空環境和便捷的維護特性也使其在真空干燥和薄膜沉積等各種應用中得到越來越廣泛的應用。

荏原干式真空泵的優勢
1. 無油清潔真空；

2. 可從大氣壓達到高真空；
3. 無需定期維護，例如加水或更換油。
荏原干式真空泵以其高能效和緊湊的尺寸而著稱，廣泛應用于各個領域。其
優化的獨特轉子設計提高了壓縮效率并實現了低能耗。緊湊輕巧的設計使其能夠在空間有限的環境中安裝，并易于搬遷。荏原干式真空泵全球出貨量已超過20萬臺*，廣泛應用于各個領域，尤其是在對性能和可靠性要求ji高的半導體行業。

此外，荏原在全球擁有超過50個服務網點，可提供可靠的全球支持。從行業**的緊湊輕型機型到氫氣排氣機型以及用于產生反應性副產物的工藝的高負荷機型，您都可以從我們豐富的產品線中選擇*合適的泵。