真空泵（高真空）的基礎(chǔ)知識(shí) 渦旋型干泵

閱讀：80 發(fā)布時(shí)間：2026-7-17

核心結(jié)構(gòu)

靜渦盤(pán)（固定渦旋）+ 動(dòng)渦盤(pán)（運(yùn)動(dòng)渦旋）
一對(duì)渦旋線型盤(pán)片，齒間保持 20～30μm 微小間隙，全程無(wú)接觸、無(wú)摩擦；靠十字滑環(huán)約束動(dòng)盤(pán)只公轉(zhuǎn)、不自轉(zhuǎn)，維持均勻密封間隙。
風(fēng)冷散熱系統(tǒng)
絕大多數(shù)渦旋泵為風(fēng)冷，無(wú)需外接冷卻水，安裝靈活；排氣溫度 60～80℃，溫升遠(yuǎn)低于螺桿泵。
密封與沖洗接口
軸封隔絕外部油污；可選氮?dú)鈿怄?zhèn)，輕微水汽工況下抑制冷凝。
電機(jī)與減震底座
小型單相電機(jī)，內(nèi)置減震，整機(jī)噪音低、振動(dòng)極小，可內(nèi)置在精密設(shè)備內(nèi)部。

動(dòng)渦盤(pán)繞靜渦盤(pán)中心做偏心行星運(yùn)動(dòng)，兩者嚙合形成連續(xù)月牙形密閉腔：

渦旋型干泵的外觀如圖所示。

渦旋型干泵的外觀

渦旋型干泵是通渦旋定子和轉(zhuǎn)子的運(yùn)動(dòng)來(lái)排氣的干泵。

該圖顯示了渦旋型干泵的結(jié)構(gòu)。

渦旋型干泵的結(jié)構(gòu)

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兩個(gè)具有相同形狀的渦旋略微偏離中心，彼此接觸相對(duì)方向運(yùn)動(dòng)，被捕獲在新月形空間中的氣體被壓向中心并從中心的孔中排出。通常，壓縮過(guò)程設(shè)計(jì)為2次以上，低振動(dòng)和低噪音。

極限壓力可以達(dá)到1Pa。在應(yīng)用方面，它被廣泛應(yīng)用于真空干燥設(shè)備，物理化學(xué)分析設(shè)備，真空吸附轉(zhuǎn)移設(shè)備，真空熱處理爐等領(lǐng)域。