什么是膜片型干泵？

半導體和電子行業的需求不斷增長

隔膜真空泵是一種利用隔膜的往復運動進行排氣的真空泵。

隨著近來半導體制造業和電子設備工業的快速發展，對隔膜真空泵的需求也在增加。

使用了膜片型干泵的技術！

真空排氣，真空濃縮，過濾，脫氣脫氣，真空吸盤，薄膜吸附，包裝機械，光學機械，真空鑷子，醫療機械，印刷機械等

膜片型干泵的特征

不適用油和液體的清潔真空

膜片型干泵是不使用油或液體的機械真空泵，非常適用于需要清潔環境且不受油蒸氣污染的應用。

優點　　由于不使用油，可以清潔排氣

缺點　　無法獲得高真空

膜片型干泵的結構

清潔構造的氣體輸送

當偏心軸（轉子）旋轉時，動力通過連桿傳遞到隔膜。

當隔膜反復上下運動時，氣體從進氣口輸送到排氣口，實現清潔排氣。另外，每個口都裝有閥門,可以一直向同一方向輸送空氣。

FAQ　真空技術咨詢（常見問題）

這里的問答摘自為紀念ULVAC KIKO 30周年而策劃和編輯的「真空能做什么」 （由日刊工業新聞社出版）
※記載的順序和表述方法已部分更改。

制造真空的Q&A

Q1.3　什么是膜片型干泵？

膜片型干泵是不使用油或液體的機械真空泵，非常適用于需要清潔環境且不受油蒸氣污染的應用。隨著近來半導體制造業和電子設備工業的快速發展，對隔膜真空泵的需求也在增加。

例如，IC的晶圓吸附裝置、真空拉鏈、薄膜吸附、自動機械、包裝機械、光學機械、真空鑷子、醫療用機械、印刷機械等用途廣泛。隔膜式真空泵的外觀如圖所示。通過安裝在固定于偏心旋轉軸上的隔膜(膜片)的移動來輸送氣體，隔膜的可移動量有限，因此較小容量的較多。

隔膜式真空泵的外觀

隔膜式真空泵的結構