真空泵（高真空）的基礎(chǔ)知識(shí) 擺動(dòng)活塞型干泵

閱讀：97 發(fā)布時(shí)間：2026-7-17

什么是擺動(dòng)活塞型干泵？

擺動(dòng)活塞型干泵的外觀如圖所示。這種類型的泵是通過與偏芯旋轉(zhuǎn)軸聯(lián)動(dòng)的活塞的往復(fù)運(yùn)動(dòng)來運(yùn)送氣體的機(jī)械式真空泵。

由于該真空泵無油，所以無法避免氣缸和活塞環(huán)的滑動(dòng)部的空氣回流。該泵結(jié)構(gòu)簡單，因此極限壓力低，但在低真空范圍內(nèi)可以獲得穩(wěn)定的壓力。另外，根據(jù)機(jī)型,也可以作為壓縮機(jī)的加壓源使用。

此泵廣泛應(yīng)用于印刷電路板安裝裝置、真空包裝機(jī)、包裝材料吸附輸送機(jī)、標(biāo)簽機(jī)、印刷油墨脫泡機(jī)、印刷機(jī)、照片制板機(jī)、絲網(wǎng)印刷機(jī)、脫泡機(jī)、沉浸機(jī)、燒結(jié)爐、抽吸機(jī)、汽車尾氣分析機(jī)、冷媒回收裝置、等離子切割裝置等。

擺動(dòng)活塞型真空泵的外觀

真空泵（高真空）的基礎(chǔ)知識(shí) 擺動(dòng)活塞型干泵

擺動(dòng)活塞型真空泵的結(jié)構(gòu)

真空泵（高真空）的基礎(chǔ)知識(shí) 擺動(dòng)活塞型干泵

業(yè)內(nèi)又稱搖動(dòng)活塞干泵，典型代表為愛發(fā)科 ULVAC DOP 系列，屬于小型低真空無油容積泵，主打潔凈負(fù)壓吸附、小型氣源，和渦旋、螺桿干泵定位wan全區(qū)分開

核心結(jié)構(gòu)

偏心曲軸 + 一體式擺動(dòng)活塞
電機(jī)直連偏心凸輪，活塞無連桿銷軸，隨曲軸做擺動(dòng) + 上下往復(fù)復(fù)合運(yùn)動(dòng)（Wobble 搖擺動(dòng)作）；活塞外圈配耐磨橡膠 / PTFE 皮碗，與氣缸內(nèi)壁滑動(dòng)密封，泵腔全程無潤滑油。
單 / 雙氣缸并聯(lián)
小型單缸、中大流量雙缸并排，并聯(lián)結(jié)構(gòu)減小氣流脈動(dòng)。
單向進(jìn)氣 / 排氣閥片
膜片式微型閥門，配合活塞往復(fù)完成吸排氣；標(biāo)配風(fēng)冷散熱風(fēng)扇，整機(jī)無需水冷。
基礎(chǔ)防護(hù)
內(nèi)置過熱保護(hù)、簡易進(jìn)氣濾芯、排氣消音棉；部分型號(hào)兼具抽真空 + 加壓兩用（SP 后綴機(jī)型可輸出 0.5MPa 正壓）。

工作原理

偏心軸旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)活塞在氣缸內(nèi)擺動(dòng)往復(fù)：

吸氣行程：活塞下行，氣缸容積擴(kuò)張，進(jìn)氣閥打開吸入空氣；
壓縮行程：活塞上行，容積縮小，氣體被壓縮推開排氣閥排出；
循環(huán)往復(fù)持續(xù)抽氣，泵腔wan全干式無油，僅曲軸軸承少量潤滑油脂，不接觸工藝氣流。

真空泵（高真空）的基礎(chǔ)知識(shí) 擺動(dòng)活塞型干泵

什么是擺動(dòng)活塞型干泵？

核心結(jié)構(gòu)

工作原理

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