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| 供貨周期 | 兩周 | 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,航空航天,電氣 |
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日本IWAKI易威奇微量泵專用控制器
日本IWAKI易威奇微量泵專用控制器
控制泵型：CFD?1T/8T、PDS?105R/H115
沖程控制：0–30 spm（CFD）、0–60 spm（PDS）
精度：重復性 ±0.1%，單沖程 mL 級精準
信號：脈沖輸入（0.0156 mL / 脈沖）、漏液傳感器接口
光刻膠涂覆（PDS?H115）：5–12 mL / 片精準分配，無氣泡 / 顆粒
單片清洗微量補液（CFD?1T）：1 mL/shot 級 HF / 氨水添加
控制泵型：TC?X/TTD、F 系列氣動隔膜泵
輸出：同時控制 3 臺泵，沖程 / 壓力閉環
功能：流量 / 沖程計數、負載波動自動穩壓、延長隔膜壽命
大流量強腐蝕藥液輸送（TC?X）：刻蝕液 / 清洗液循環，穩定流量
CMP 漿料循環：防沉淀、流量穩定，保護泵與管路
| 控制器型號 | 適配泵型 | 核心參數 | 最佳場景 |
|---|---|---|---|
| W600W | IX?D/CFD/PDS | pH±0.01、6 路輸出 | 濕法清洗 / 刻蝕通用 |
| W600Cu/Ni | IX?D/SUS316 | 金屬濃度 ±0.1g/L | 化學鍍銅 / 鎳 |
| Intuition?9 | 全系列 | 9 入 12 出、±0.5% | 12 寸 Fab 中央監控 |
| FDC?1 | CFD/PDS | 單沖程 ±0.1% | 光刻膠 / 微量補液 |
| SC?1/SC?2 | TC?X/TTD | 3 泵聯動、穩壓 | 大流量腐蝕液輸送 |
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