日本進(jìn)口EBARA荏原 濕式廢氣處理裝置
日本進(jìn)口EBARA荏原 濕式廢氣處理裝置

一、核心參數(shù)

• *大處理風(fēng)量：1,000 L/min

• 進(jìn)氣接口：4 個（可同時接多臺設(shè)備）

• 電源：3 相 AC200V，50/60Hz，1.8–3.5kW

• 尺寸 (W×D×H)：914×736×1,727 mm

• 公用工程：

• 工藝水：1–10 L/min

• 氮?dú)猓?5–50 L/min

• 排氣能力：

• 處**：1.5 m3/min

• 機(jī)箱排氣：1.3 m3/min

二、處**體范圍

• 適用：HCl、DCS、WF?、NH?、TiCl?、BCl?、ClF?、SiF?、Cl?、F?等。

• 不適用：H?、SiH?、PH?、GeH?、CH?及 PFCs（CF?、SF?、NF?）等。

三、主要特點(diǎn)

• 無堵塞設(shè)計(jì)：4 路加熱進(jìn)氣，防止反應(yīng)物凝結(jié)堵塞。

• 原位清洗：支持在線化學(xué)清洗，減少停機(jī)時間。

• pH 自動控制：自動加藥調(diào)節(jié)洗滌液 pH 值，保證處理效率。

• 磁力驅(qū)動泵：2HP 磁力泵，無泄漏，耐腐蝕。

• 正壓排放：**可靠，防止廢氣倒灌。

• **設(shè)計(jì)：通風(fēng)**罩、旁路閥、24V 信號控制。

四、典型應(yīng)用

• 半導(dǎo)體：Epi（外延）、CVD（化學(xué)氣相沉積）、Etching（刻蝕）、Ashing（灰化）等制程廢氣處理。

• 光伏 / LED：類似半導(dǎo)體工藝的腐蝕性廢氣治理。

五、與 EBT 系列區(qū)別

• EBT 系列：渦輪分子泵（高真空獲得設(shè)備）。

• G-WS1000：廢氣處理設(shè)備（末端治理），常與真空泵配套使用。

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