KEYENCE基恩士 接觸式高精度位移傳感器
KEYENCE基恩士 接觸式高精度位移傳感器

一、產品定位

接觸式數字位移傳感器，靠測頭直接接觸工件測量，微米 / 亞微米級高精度，抗反光、抗粉塵、不受材質影響，適合芯片引腳、BGA、探針臺、治具、晶圓載具、精密工裝測量。

屬于基恩士超高精度位移測量主力系列，半導體、3C、精密加工行業標配。

二、核心結構

由 傳感器探頭 + 放大器單元 組成，測頭內置彈簧，輕壓接觸測量。

三、兩大探頭類型（選型關鍵）

1. GT2?P 筆式 / 標準型

細長筆式，適合狹小空間、設備內部安裝

• GT2?P12K：半導體爆款，12mm 量程，高精度，探針臺、固晶機、鍵合機專用

• GT2?P12：普通型

• GT2?P22：22mm 大量程

• GT2?P8：小量程超高精度

2. GT2?H 回彈式（側向 / 垂直安裝）

測頭橫向伸出，適合側面測量、空間受限場景

• GT2?H12K、GT2?H32

帶 K 型號 = 高精度版，半導體必選

四、放大器（配套使用）

• GT2?72N：DIN 導軌型，NPN 輸出，半導體設備控制柜常用

• GT2?71P：PNP 型

• GT2?75：帶 RS485 通訊，對接 PLC、上位機

五、關鍵性能（半導體核心優勢）

1. 重復精度：0.1 μm（比 IL 系列更高）

2. 分辨率：0.1μm / 1μm 可調

3. 采樣速度：*高 16kHz

4. 不受表面材質影響：黑膠、陶瓷、金屬、玻璃都能測（激光測不了的都能用它）

5. 彈簧力輕柔，不會壓傷芯片、晶圓、微小零件

6. IP67，適配無塵車間、潔凈室

六、半導體典型運用場景

1. 芯片引腳高度、平整度、共面度檢測

2. BGA 焊球高度、間距測量

3. 探針臺探針位移、壓力監測

4. 晶圓載具、FOUP 治具變形、平整度檢測

5. 精密定位治具微小位移、公差檢測

6. 封裝后外殼高度、厚度測量

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