愛發科 ULVAC 5軸數字磁懸浮渦輪分子泵
愛發科 ULVAC 5軸數字磁懸浮渦輪分子泵

一、核心定位與三大子系列

1. UTM?MS（外置控制器?緊湊型數字磁?。?/h3>

• 結構：泵體與控制器分離，體積小巧，轉速 25%–100% 數字可調，鍍鎳防腐

• 軸承：5 軸數字磁懸浮，無機械接觸、無磨損、零潤滑油

• 冷卻：風冷 / 水冷可選，適合中小腔體、實驗室、小型量產線

2. UTM?MI（內置控制器?通用量產主力）

• 結構：控制器集成泵體底部，接線極簡、省空間、穩定性強，量產標配爆款

• 真空性能：烘烤后極限真空可達10??Pa，無油潔凈真空

• 通訊：支持 RS485/232，可接入 PLC 遠程監控

3. UTM?FH/FW（寬流量?耐腐蝕?**數字磁?。?/h3>

• FH：高壓縮比，側重抽氫氣、輕氣體，高背壓耐受

• FW：大流量、抗粉塵、耐腐蝕，適配濺射、PECVD、半導體刻蝕等惡劣工藝

• 抽速覆蓋：350–6300L/s，愛發科**數字磁浮系列

二、核心技術優勢（數字磁懸浮對比陶瓷軸承 YTP）

1. 數字 5 軸磁懸浮：高速精準控軸，振動極低、噪音≤60dB

2. 免維護長壽命：無機械磨損，壽命 3–5 年，可 24h 連續不間斷工作

3. 安裝自由：水平 / 垂直 / 倒置任意安裝，設備設計靈活

4. 潔凈度：無油、無碳粉污染，適配光學、半導體嚴苛工藝

5. 數字調速：精準控壓，適配鍍膜、濺射的工藝壓力調節

6. 短板：價格高，需搭配前級泵（干式 / 油式），抽水能力弱，必須搭配 CRYO?T 冷阱除水汽

三、主流型號參數（氮氣抽速 L/s，法蘭，20℃）

型號法蘭氮氣抽速前級泵推薦類型適用場景

UTM300A?MSISO10030040–100L/min外置緊湊型小型腔體、實驗室

UTM400A?MSISO10040060–150L/min外置緊湊型小型鍍膜、科研

UTM1200A?MIISO1601030≥600L/min內置通用款標準光學鍍膜、磁控濺射UTM1600A?MIISO2001400≥1000L/min內置通用款中型量產、精密鍍膜UTM2300A?MIISO2502100≥1500L/min內置通用款大型腔體、半導體

UTM3400A?MIISO3003200≥2000L/min內置通用款FPD 面板、超大真空艙

UTM?350FHISO10035080–150L/min耐腐蝕**半導體刻蝕、PECVD

四、典型應用場景

1. 光學真空鍍膜、磁控濺射、真空蒸鍍（UTM+CRYO?T 冷阱黃金組合）

2. 半導體晶圓工藝、PECVD、刻蝕、離子注入

3. FPD 面板、光伏、鋰電真空產線

4. 科研：超高真空腔體、質譜、表面分析、航天模擬

5. 精密檢漏、真空熱處理