日本HUGLE藤宮臺式 / 懸掛離子風機
日本HUGLE藤宮臺式 / 懸掛離子風機
一、臺式 / 懸掛離子風機(機臺腔體、AOI、固晶機標配)
1.MODEL 1900(主流大單風機|8/12 寸 Fab、封裝主力)
供電:AC100~240V→DC24V 適配器,輸入 0.85A MAX
離子平衡:±10V(高精度,無塵 Class100 可用),臭氧<0.001PPM
風量:0.89~3.68m3/min 無級調速,安裝距離 300~1000mm
尺寸:164×63×181.5mm,凈重 750g;自帶手動清潔刷、故障 / 清潔 LED 報警 + 信號輸出
輸出高壓:±6.5kV 直流放電
半導體應用
晶圓檢測機腔體、AOI 光學檢測工位、固晶 / 焊線機內部、FOUP 出料口、晶圓劃片上料區,消除靜電吸附粉塵、防止芯片靜電擊穿。
2.MODEL30/30N(小型桌面風機|小工位定點除電)
參數DC24V 供電,微型機身,離子平衡 ±15V,小風量定點送風,自帶高壓異常報警;
應用:芯片分選機臺面、顯微鏡金相檢測、小件 IC 封裝、LED 晶粒擺盤工位。
3.MODEL1401(迷你壁掛風機|狹小機臺模組)
DC24V,風量 0~1.5m3/min 可調,超薄機身;
應用:UV 固化爐出入口、UNIHARD 固化設備腔體、FPC 曝光機側邊除靜電。
二、DC 脈沖離子風棒 MODEL453 系列(流水線固定式,半導體制程用量*大)配套控制器:470A(直流)/470M(脈沖直流),一控多棒,*多驅動 6 支 453 棒
453 本體參數
棒體供電:DC12V 低壓控制線(**無塵車間),單棒輸入 0.2A MAX
輸出高壓:±4.8~7kV,可選鎢針 / 多晶硅放電針(半導體高潔凈標配多晶硅)
有效除電距離:50~1000mm,棒長可定制 572~2500mm
模式切換:控制器一鍵切換連續 DC / 脈沖 DC,離子平衡 ±5V 以內
半導體全制程點位
前道 Fab:晶圓涂膠前、光刻剝離、貼膜 / 撕膜、鍍膜上下料口;
封裝廠:晶圓 UV 膜裁切、擴晶機 HS 進料、劃片進料、塑封進料;
FPC/PCB:干膜曝光線、綠油涂布、基板清洗后干燥段(搭配 USG 干式清洗機)。
常用細分型號:453S-600/800/1000-WCG(WCG = 多晶硅針潔凈款)
1.POLAR MODEL3300(鋰電充電無電源線款|無塵**)
參數內置鋰電池,無需高壓線纜;輸出 AC2kV,氣源 0~0.5MPa(潔凈壓縮空氣 / 氮氣),*大風量 200L/min;槍重 200g,鎢放電針;充滿連續工作 8h。
應用:晶圓邊角顆粒清理、FOUP 內壁手動吹掃、**芯片返工除塵、機臺內部模組維修除靜電。
2.MODEL307R(氣源式氣動風槍|量產流水線返工)
外接高壓控制器 + 氣源,帶高壓異常斷電保護;
應用:封裝產線批量**器件清理、PCB 載具除塵。
3.MODEL3080S 筆型離子除電器(微型定點筆式|掩模 / 小片晶圓)
參數:AC100~240V,氣源 0.05~0.4MPa,氮氣 / 空氣兩用,噴嘴定點小范圍離子噴射;
應用:光罩(Reticle)掩模除塵、小片晶圓、微型芯片單點除靜電除塵。
四、ISX 系列軟 X 射線無風除靜電器(**前道 8/12 寸 Fab,無氣流擾動**款)
ISX-224(主流單品)
參數軟 X 射線電離原理、
零氣流無風除靜電;頭體尺寸 30×50×96mm,功耗 11W,自然風冷,鋁合金 SUS304 殼體,單頭重 350g;離子平衡 ±3V 以內,無臭氧、無揚塵、無需定期清潔放電針(僅到期更換 X 射線燈管)。
核心應用(先進制程 EUV / 鍍膜剛需)晶圓 PVD/CVD 鍍膜腔體內部、光刻腔、8/12 寸晶圓真空腔體、超薄晶圓薄膜制程,
禁止吹風的精密腔體專用,避免氣流揚起微顆粒造成良率**。
五、7000 系列靜電在線監測儀(產線 ESD 管控)
參數:在線實時采集表面電位 0~±20kV,4~20mA 信號輸出聯動機臺停機報警;
應用:FOUP 出入口、潔凈室關鍵站點、離子棒后端靜電實時監控,Fab 全廠 ESD 系統化管控。 六、選型速記(對接你主營 UNIHARD/USHIO 配套)
固化線(UNIHARD UV)出入口:453 風棒 + 1900 風機
晶圓 AOI 視覺工位:1900 風機
機臺手動返工:3300 充電風槍
12 寸**鍍膜 / 光刻:ISX-224 X 射線除靜電器
掩模 / 小片晶圓:3080S 筆型除電器