通用基礎(chǔ)小型 SLG 系列（微小工位、顯微鏡同軸照明）

1. SLG-30 系列

• 細(xì)分型號：SLG-30-W (白)、SLG-30-R (紅 625nm)、SLG-30-G (綠 525nm)、SLG-30-B (藍 455nm)

• 核心參數(shù)：經(jīng)濟型小功率，10bit 調(diào)光，壽命 30000h，匹配細(xì)芯光纖

• 應(yīng)用場景：晶圓針腳微小臟點、芯片引腳焊點檢測、顯微鏡輔助照明、微型元件外觀劃痕

2. SLG-50S 系列（行業(yè)標(biāo)配爆款）

• 細(xì)分型號：SLG-50S-W (6500K 白光)、SLG-50S-R、SLG-50S-G、SLG-50S-B

• 核心參數(shù)：照度穩(wěn)定輸出，兼容塑料 / 石英光纖，風(fēng)冷散熱，RoHS/CE，色溫 6500K±500K

• 半導(dǎo)體核心用途：8/12 寸晶圓表面顆粒、針孔、崩邊、光刻膠殘留檢測；封裝芯片塑封缺陷、焊球缺球檢測；Wafer 微觀劃痕 AOI 定位照明

3. SLG-55 / SLG-55C

• 參數(shù)：升級版，輸出亮度高于 SLG-50S，多光纖端口可選

• 場景：多工位分選機、半導(dǎo)體來料外觀復(fù)檢、陶瓷基板裂紋檢測

大功率旗艦 SLG-150V 系列（超高照度，替代 250W 金鹵燈）

1. SLG-150V（標(biāo)準(zhǔn)版）

• 子型號：SLG-150V-W/CW/DW/R/G/B

• 核心參數(shù)：峰值照度≥200 萬 Lux，10bit (1024 級) 數(shù)字調(diào)光，強制風(fēng)冷，RS232 / 以太網(wǎng) / 0-5V 模擬控制，壽命 30000h

• 應(yīng)用：晶圓大面積表面異物、氧化層缺陷、玻璃基板微裂紋、高反光晶圓鏡面缺陷抑制成像

2. SLG-150V-X / SLG-165V-X（超高亮度增強型）

• 參數(shù)：照度為普通 150V 兩倍，可選內(nèi)置電動濾色片切換模組

• 場景：高對比度難檢缺陷、多層晶圓疊層瑕疵、單工位多波長分時檢測

3. SLG-150V-UV（紫外專用）

• 波長：365/385/405nm 可選紫外 LED

• 應(yīng)用：光刻膠殘留檢測、晶圓熒光雜質(zhì)、樹脂溢膠、封裝膠水溢膠、油污熒光探傷

4. SLG-150V-NIR（近紅外穿透型）

• 波長：850/940/1060/1100nm 四波段可選

• 半導(dǎo)體場景：晶圓內(nèi)部隱裂、硅片體內(nèi)雜質(zhì)、封裝內(nèi)部空洞、塑封內(nèi)部分層無損穿透檢測、背面缺陷透視檢查

高速脈沖頻閃 SLG-150HSP 系列（高速自動化產(chǎn)線專用）

1. SLG-150HSP2

• 參數(shù)：上升沿 2μs、下降沿 3μs 微秒級響應(yīng)，頻閃同步相機，≥200 萬 Lux

• 場景：高速晶圓分揀機、高速平移臺動態(tài)檢測、高速線掃同步抓拍，消除運動拖影

2. SLG-150HSP3（第三代高均勻無影款）

• 參數(shù)：漫射勻光結(jié)構(gòu)，視場照度差＜5%，無風(fēng)扇自然空冷（潔凈室無塵）

• 場景：高光晶圓、鋁墊、電鍍焊盤、低對比度細(xì)微劃痕、毛刺、臟點**缺陷檢出，半導(dǎo)體 Class1 潔凈車間標(biāo)配

超大功率特種 SLG 型號

1. SLG-300：300W 級超大照度，大尺寸晶圓整片掃描、厚硅片穿透檢測

2. SLG-600V2 / SLG-600V2-FC：多通道分光輸出，一拖多光纖分光，一臺主機驅(qū)動多個檢測工位，晶圓多點位同步檢測

3. SLG-450TSL（RGB 混色光源）

• 參數(shù)：RGB 三色獨立 10bit 調(diào)光、鎖色功能，峰值照度超千萬 Lux

• 應(yīng)用：彩色封裝色差、晶圓氧化色階判定、材料色差分類、多光譜缺陷分析

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