通用基礎(chǔ)小型 SLG 系列（微小工位、顯微鏡同軸照明）

1. SLG-30 系列

• 細(xì)分型號(hào)：SLG-30-W (白)、SLG-30-R (紅 625nm)、SLG-30-G (綠 525nm)、SLG-30-B (藍(lán) 455nm)

• 核心參數(shù)：經(jīng)濟(jì)型小功率，10bit 調(diào)光，壽命 30000h，匹配細(xì)芯光纖

• 應(yīng)用場(chǎng)景：晶圓針腳微小臟點(diǎn)、芯片引腳焊點(diǎn)檢測(cè)、顯微鏡輔助照明、微型元件外觀劃痕

2. SLG-50S 系列（行業(yè)標(biāo)配爆款）

• 細(xì)分型號(hào)：SLG-50S-W (6500K 白光)、SLG-50S-R、SLG-50S-G、SLG-50S-B

• 核心參數(shù)：照度穩(wěn)定輸出，兼容塑料 / 石英光纖，風(fēng)冷散熱，RoHS/CE，色溫 6500K±500K

• 半導(dǎo)體核心用途：8/12 寸晶圓表面顆粒、針孔、崩邊、光刻膠殘留檢測(cè)；封裝芯片塑封缺陷、焊球缺球檢測(cè)；Wafer 微觀劃痕 AOI 定位照明

3. SLG-55 / SLG-55C

• 參數(shù)：升級(jí)版，輸出亮度高于 SLG-50S，多光纖端口可選

• 場(chǎng)景：多工位分選機(jī)、半導(dǎo)體來(lái)料外觀復(fù)檢、陶瓷基板裂紋檢測(cè)

大功率旗艦 SLG-150V 系列（超高照度，替代 250W 金鹵燈）

1. SLG-150V（標(biāo)準(zhǔn)版）

• 子型號(hào)：SLG-150V-W/CW/DW/R/G/B

• 核心參數(shù)：峰值照度≥200 萬(wàn) Lux，10bit (1024 級(jí)) 數(shù)字調(diào)光，強(qiáng)制風(fēng)冷，RS232 / 以太網(wǎng) / 0-5V 模擬控制，壽命 30000h

• 應(yīng)用：晶圓大面積表面異物、氧化層缺陷、玻璃基板微裂紋、高反光晶圓鏡面缺陷抑制成像

2. SLG-150V-X / SLG-165V-X（超高亮度增強(qiáng)型）

• 參數(shù)：照度為普通 150V 兩倍，可選內(nèi)置電動(dòng)濾色片切換模組

• 場(chǎng)景：高對(duì)比度難檢缺陷、多層晶圓疊層瑕疵、單工位多波長(zhǎng)分時(shí)檢測(cè)

3. SLG-150V-UV（紫外專用）

• 波長(zhǎng)：365/385/405nm 可選紫外 LED

• 應(yīng)用：光刻膠殘留檢測(cè)、晶圓熒光雜質(zhì)、樹(shù)脂溢膠、封裝膠水溢膠、油污熒光探傷

4. SLG-150V-NIR（近紅外穿透型）

• 波長(zhǎng)：850/940/1060/1100nm 四波段可選

• 半導(dǎo)體場(chǎng)景：晶圓內(nèi)部隱裂、硅片體內(nèi)雜質(zhì)、封裝內(nèi)部空洞、塑封內(nèi)部分層無(wú)損穿透檢測(cè)、背面缺陷透視檢查

高速脈沖頻閃 SLG-150HSP 系列（高速自動(dòng)化產(chǎn)線專用）

1. SLG-150HSP2

• 參數(shù)：上升沿 2μs、下降沿 3μs 微秒級(jí)響應(yīng)，頻閃同步相機(jī)，≥200 萬(wàn) Lux

• 場(chǎng)景：高速晶圓分揀機(jī)、高速平移臺(tái)動(dòng)態(tài)檢測(cè)、高速線掃同步抓拍，消除運(yùn)動(dòng)拖影

2. SLG-150HSP3（第三代高均勻無(wú)影款）

• 參數(shù)：漫射勻光結(jié)構(gòu)，視場(chǎng)照度差＜5%，無(wú)風(fēng)扇自然空冷（潔凈室無(wú)塵）

• 場(chǎng)景：高光晶圓、鋁墊、電鍍焊盤、低對(duì)比度細(xì)微劃痕、毛刺、臟點(diǎn)**缺陷檢出，半導(dǎo)體 Class1 潔凈車間標(biāo)配

超大功率特種 SLG 型號(hào)

1. SLG-300：300W 級(jí)超大照度，大尺寸晶圓整片掃描、厚硅片穿透檢測(cè)

2. SLG-600V2 / SLG-600V2-FC：多通道分光輸出，一拖多光纖分光，一臺(tái)主機(jī)驅(qū)動(dòng)多個(gè)檢測(cè)工位，晶圓多點(diǎn)位同步檢測(cè)

3. SLG-450TSL（RGB 混色光源）

• 參數(shù)：RGB 三色獨(dú)立 10bit 調(diào)光、鎖色功能，峰值照度超千萬(wàn) Lux

• 應(yīng)用：彩色封裝色差、晶圓氧化色階判定、材料色差分類、多光譜缺陷分析

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