目錄:玉崎半導(dǎo)體(深圳)有限公司>>TAIKO大晃>> BEH--1200TAIKO大晃 BEH系列單級螺桿干式真空泵
| 供貨周期 | 兩周 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
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TAIKO大晃 BEH系列單級螺桿干式真空泵
TAIKO大晃 BEH系列單級螺桿干式真空泵
Taiko（大晃）BEH 系列是單級螺桿干式真空泵，主打大抽速、高真空、低轉(zhuǎn)速、無塵無油，用于半導(dǎo)體 / FPD / 光伏等高潔凈工藝
| 型號 | 抽速（L/min） | 極限真空（Pa） | 入口 / 出口法蘭 | 電機(jī)功率（kW） | 冷卻水量（L/min） |
|---|---|---|---|---|---|
| BEH-600 | 7,000/10,000 | 0.13 | NW50/NW40 | 1.5+3.7 | 2 |
| BEH-1200 | 14,000/20,000 | 0.08 | ISO100/NW50 | 3.7+5.5 | 4 |
| BEH-1800 | 19,000/30,000 | 0.08 | ISO160/NW50 | 5.5+5.5 | 4 |
單級非接觸壓縮：無油、無密封水、無污染。
超低轉(zhuǎn)速：3000rpm（50Hz）/3600rpm（60Hz），磨損小、壽命長、噪音低
高極限真空：可達(dá)0.08Pa（≈10?3Torr），滿足超高真空需求
強(qiáng)耐粉塵：可處理含微塵、霧氣、少量顆粒氣體，不易堵轉(zhuǎn)。
泵體：鑄鐵（標(biāo)準(zhǔn)）/316 不銹鋼（可選）
螺桿：特殊涂層（耐磨、耐腐蝕）
軸承 / 密封：進(jìn)口高耐久件，免維護(hù)周期長
冷卻方式：水冷（標(biāo)準(zhǔn)），水溫 5–30°C，水壓 0.2–0.4MPa
無油無水：干式運行，0污染排放，適合高純 / 潔凈制程。
大抽速 + 高真空：單級實現(xiàn)0.08Pa，替代多級泵，系統(tǒng)簡化。
低能耗：低速設(shè)計，比同級干泵省電 20–30%。
易維護(hù)：單級結(jié)構(gòu)，拆裝簡單，備件少，維護(hù)成本低。
防爆適配：可定制防爆電機(jī)，滿足化工 / 危險環(huán)境。
五、典型應(yīng)用
半導(dǎo)體：刻蝕、CVD、PVD、離子注入
FPD：LCD/OLED 鍍膜、濺射、真空貼合
光伏：硅片拉晶、PECVD、真空干燥
化工：真空蒸餾、脫氣、溶劑回收
醫(yī)藥：無菌干燥、凍干、蒸餾
BEH：系列代號（B = 單級，E = 高真空，H = 大抽速）
1200：近似抽速（m3/h，60Hz）
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