目錄:玉崎半導體(深圳)有限公司>>TAIKO大晃>> RMC-20000進口TAIKO大晃RMC系列羅茨機械增壓泵
| 供貨周期 | 兩周 | 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
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進口TAIKO大晃RMC系列羅茨機械增壓泵
進口TAIKO大晃RMC系列羅茨機械增壓泵
全稱：Roots Mechanical Booster = 羅茨機械增壓器（不能單獨用，必須配大晃 TDP/BEH 干泵做前級）
結構：羅茨轉子（增壓段）+ 螺桿干泵（前級段） 直聯集成，PLC 聯動控制
作用：大幅提升抽速 + 提高極限真空 + 降低前級泵功耗，適合中高真空制程
| 型號 | 抽速 L/min (50/60Hz) | 極限真空 Pa | 電機功率 kW（羅茨 + 干泵） | 重量 kg | 適配前級 |
|---|---|---|---|---|---|
| RMC-3500 | 3,500/4,200 | ≤0.1 | 5.5+2.2 | 550 | TDP-3000 |
| RMC-6000 | 6,000/7,200 | ≤0.1 | 7.5+3.7 | 850 | TDP-6000/BEH-7000 |
| RMC-10000 | 10,000/12,000 | ≤0.1 | 15+5.5 | 1,300 | BEH-12000 |
| RMC-20000 | 20,000/24,000 | ≤0.1 | 30+11 | 2,100 | BEH-24000/30000 |
轉子：大晃蜂后螺桿（Queen Bee Screw），非接觸、低磨損、耐粉塵
轉速：羅茨 1500/1800 rpm + 螺桿 3000/3600 rpm，低速低噪
材質：球墨鑄鐵 + 耐腐蝕涂層，可選 316 不銹鋼腔體
控制：智能 PLC + 觸摸屏，聯動啟停、過載保護、氮氣吹掃接口
| 系列 | 類型 | 抽速 L/min | 極限真空 Pa | 適用場景 |
|---|---|---|---|---|
| TDP | 單級螺桿干泵 | 3,000～12,000 | 0.13 | 通用、中真空、低成本 |
| RMC | 羅茨 + 螺桿增壓機組 | 3,500～20,000 | 0.1 | 中高真空、大流量、前端增壓 |
| BEH | 螺桿 + 羅茨集成干泵 | 7,000～30,000 | 0.08 | **半導體、FPD、大流量高真空 |
| TRIC | 大型螺桿 + 羅茨機組 | 30,000～60,000 | 0.08 | 超大腔體、半導體 / 光伏整線 |
刻蝕（Etching）：RMC-10000/20000 + BEH，快速抽氣 + 高真空，減少腔室等待時間
CVD/PVD 薄膜沉積：RMC-6000/10000 + TDP/BEH，穩定 0.1 Pa 級真空，膜層均勻
離子注入：RMC-20000 + BEH-30000，大流量排氣 + 低粉塵殘留
晶圓脫氣 / 退火：RMC-3500/6000 + TDP，高效脫氣 + 低能耗
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