目錄:玉崎半導體(深圳)有限公司>>TAIKO大晃>> BEH--1800H日本TAIKO大晃 BEH系列單級螺桿干式真空泵
| 供貨周期 | 兩周 | 應用領域 | 化工,能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
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日本TAIKO大晃 BEH系列單級螺桿干式真空泵
日本TAIKO大晃 BEH系列單級螺桿干式真空泵
Taiko（大晃）BEH 系列是單級螺桿干式真空泵，主打大抽速、高真空、低轉速、無塵無油，用于半導體 / FPD / 光伏等高潔凈工藝
| 型號 | 抽速（L/min） | 極限真空（Pa） | 入口 / 出口法蘭 | 電機功率（kW） | 冷卻水量（L/min） |
|---|---|---|---|---|---|
| BEH-600 | 7,000/10,000 | 0.13 | NW50/NW40 | 1.5+3.7 | 2 |
| BEH-1200 | 14,000/20,000 | 0.08 | ISO100/NW50 | 3.7+5.5 | 4 |
| BEH-1800 | 19,000/30,000 | 0.08 | ISO160/NW50 | 5.5+5.5 | 4 |
單級非接觸壓縮：無油、無密封水、無污染。
超低轉速：3000rpm（50Hz）/3600rpm（60Hz），磨損小、壽命長、噪音低
高極限真空：可達0.08Pa（≈10?3Torr），滿足超高真空需求
強耐粉塵：可處理含微塵、霧氣、少量顆粒氣體，不易堵轉。
泵體：鑄鐵（標準）/316 不銹鋼（可選）
螺桿：特殊涂層（耐磨、耐腐蝕）
軸承 / 密封：進口高耐久件，免維護周期長
冷卻方式：水冷（標準），水溫 5–30°C，水壓 0.2–0.4MPa
無油無水：干式運行，0污染排放，適合高純 / 潔凈制程。
大抽速 + 高真空：單級實現0.08Pa，替代多級泵，系統簡化。
低能耗：低速設計，比同級干泵省電 20–30%。
易維護：單級結構，拆裝簡單，備件少，維護成本低。
防爆適配：可定制防爆電機，滿足化工 / 危險環境。
五、典型應用
半導體：刻蝕、CVD、PVD、離子注入
FPD：LCD/OLED 鍍膜、濺射、真空貼合
光伏：硅片拉晶、PECVD、真空干燥
化工：真空蒸餾、脫氣、溶劑回收
醫藥：無菌干燥、凍干、蒸餾
BEH：系列代號（B = 單級，E = 高真空，H = 大抽速）
1200：近似抽速（m3/h，60Hz）
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