干式泵是各種無需使用油或其他液體即可實現真空的真空泵的統稱。

干式泵是用來與濕式泵相對的術語，濕式泵使用油或其他液體來產生真空。干式泵有多種類型，其工作原理各不相同，包括羅茨式干式泵、渦旋泵、爪式干式泵和隔膜式干式泵。

此外，與旋轉泵不同，它不會排放油霧，因此適合在潔凈的環境中使用。

干式泵的用途

干式泵主要用于半導體生產線、食品加工生產線以及各種科學分析設備，包括電子顯微鏡。在這些應用中，避免工作環境受到污染至關重要。干式泵最大的優勢在于其排氣中不含油霧或其他污染物，因此非常適合對環境潔凈度要求較高的應用。

然而，干式真空泵的極限真空度僅約為1 Pa，并不高。當需要高真空時，通常需要與渦輪分子泵或離子泵聯用。此外，不同類型干式真空泵的抽速也各不相同，因此必須根據具體應用選擇合適的類型。

干式泵的原理

干式泵種類繁多，但其中許多屬于氣體輸送泵。所有氣體輸送泵都設有吸入氣體的進氣口和排出氣體的排氣口。氣體通過進氣口吸入，再通過排氣口排出，從而將氣體從泵內排出。

這種機制通過輸送各種氣體來減少空間內的氣體量，從而產生真空。與干式泵不同，濕式泵使用液壓油來確保在輸送氣體時真空泵內部的密封。

除了密封作用外，液壓油還能減少零件之間的磨損和摩擦，吸收氣體壓縮產生的熱量（稱為壓縮熱），并防止泵部件生銹。

干式泵的類型

干式泵有多種設計，用于輸送氣體。干式泵的主要類型是容積式泵，其中旋轉泵最為常見。

1. 葉片泵

葉片泵是一種泵，其內部裝有多個葉片，這些葉片在一個圓形空間內旋轉，利用葉片產生空氣湍流。葉片產生的離心力使其與圓形空間的壁面接觸，形成密封環境。

2. 爪泵

爪式泵有兩個并排的爪形轉子，它們反向旋轉以排出氣體。氣體被壓縮后排出到泵的外部。

3. 多級羅茨泵

多級羅茨泵也是一種利用一對反向旋轉的轉子將吸入的氣體排出泵外的泵。這些轉子的葉片橫截面呈繭狀。

4. 渦旋泵

渦旋泵是一種利用旋轉渦旋在固定渦旋內移動來輸送氣體的泵，該固定渦旋的壁與渦旋的壁相同。

5. 螺桿泵

螺桿泵由一到三個螺桿和一個容納螺桿的泵殼組成。當螺桿旋轉時，氣體被推出泵殼并排出。

除了上述旋轉式干式泵外，還有采用容積式原理的往復式干式泵。往復運動的部件包括隔膜、活塞和波紋管。