粒子計(jì)數(shù)器是一種測量儀器，可以精確測量懸浮在氣體或液體中的不可見粒子的大小和數(shù)量。

顆粒計(jì)數(shù)器，也稱為“顆粒物計(jì)數(shù)器"，在半導(dǎo)體制造和生物技術(shù)等對(duì)環(huán)境控制要求嚴(yán)格的行業(yè)中發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。它通過量化目標(biāo)空間的潔凈度（潔凈室等級(jí)）來確保質(zhì)量控制標(biāo)準(zhǔn)。與測量整個(gè)空間質(zhì)量濃度的普通粉塵計(jì)不同，顆粒計(jì)數(shù)器能夠?qū)γ總€(gè)單獨(dú)的顆粒進(jìn)行計(jì)數(shù)。

粒子計(jì)數(shù)器的用途

它主要用于潔凈室和無菌室等對(duì)潔凈度要求的場所進(jìn)行環(huán)境監(jiān)測，例如以下應(yīng)用：

半導(dǎo)體制造和精密電子元件裝配線的良率管理。

對(duì)半導(dǎo)體制造和醫(yī)用注射液中使用的超純水中的液態(tài)顆粒物進(jìn)行檢測。

制藥廠無菌操作區(qū)域環(huán)境評(píng)估（符合GMP規(guī)范的設(shè)施）

防止食品加工廠受到異物污染并實(shí)施符合HACCP標(biāo)準(zhǔn)的衛(wèi)生管理

保持醫(yī)療機(jī)構(gòu)生物潔凈室（手術(shù)室和無菌治療室）的清潔。

航空航天和核能領(lǐng)域精密部件的清潔度檢測。

空氣中的細(xì)小粉塵、霉菌和細(xì)菌顆粒會(huì)直接導(dǎo)致嚴(yán)重的產(chǎn)品缺陷和感染風(fēng)險(xiǎn)。使用顆粒計(jì)數(shù)器進(jìn)行持續(xù)監(jiān)測對(duì)于保持清潔的環(huán)境至關(guān)重要。

粒子計(jì)數(shù)器原理

粒子計(jì)數(shù)器的檢測原理是光散射法，它利用激光進(jìn)行探測。雖然具體機(jī)制會(huì)因被測物質(zhì)是氣體還是液體而有所不同，但通常采用以下測量方法。

1. 利用光散射法的測量機(jī)制

空氣（或液體）以恒定流速從設(shè)備內(nèi)部的“樣品供應(yīng)單元"吸入，激光則從“光照射單元"照射樣品。如果樣品中存在細(xì)小顆粒，光線會(huì)照射到這些顆粒上并發(fā)生散射。散射光被“檢測單元"中的光接收透鏡收集，并由光電倍增管或光電二極管等光接收元件轉(zhuǎn)換為電信號(hào)。

散射光的強(qiáng)度與顆粒的表面積（粒徑）成正比，散射光的產(chǎn)生次數(shù)與顆粒數(shù)量相對(duì)應(yīng)。通過分析電信號(hào)的脈沖幅度和脈沖數(shù)，該系統(tǒng)能夠?qū)崟r(shí)、精確地計(jì)數(shù)不同粒徑的顆粒數(shù)量。

2. 遮光型（液體計(jì)量）

在測量純水或化學(xué)溶液等液體中的不溶性細(xì)顆粒時(shí)，除了光散射法外，還可以使用光屏蔽法（光衰減法）。該測量方法通過檢測顆粒在光源和光接收單元之間通過時(shí)被阻擋的光量的減少來確定顆粒大小，適用于測量相對(duì)較大的顆粒。