它們大致根據(jù)被測量的介質(zhì)和操作方法進行分類。

1. 空氣顆粒計數(shù)器

這些設(shè)備用于測量空氣中的顆粒物。它們有多種類型，包括便攜式手持型號，以及固定在潔凈室內(nèi)多個位置進行24小時連續(xù)監(jiān)測的多點連續(xù)監(jiān)測系統(tǒng)（設(shè)施監(jiān)測系統(tǒng)）。

2. 液體粒子計數(shù)器

該設(shè)備用于測量半導(dǎo)體清洗用超純水、靜脈注射液和工業(yè)液壓油中所含的雜質(zhì)顆粒。它采用特殊的傳感器結(jié)構(gòu)，可以補償流體折射率和粘度的影響。

如何選擇粒子計數(shù)器

在準(zhǔn)確了解將要管理的標(biāo)準(zhǔn)和環(huán)境條件之后，有必要選擇合適的型號。

1. 確認可測量的顆粒尺寸和可測量的顆粒濃度。

待測顆粒的最小粒徑（例如，0.1 μm、0.3 μm、0.5 μm 等）取決于潔凈室的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)以及超純水和化學(xué)溶液的質(zhì)量控制標(biāo)準(zhǔn)。選擇可測量粒徑大于控制規(guī)格的設(shè)備可能會導(dǎo)致漏檢一些關(guān)鍵有害顆粒。此外，在潔凈度較低（顆粒濃度較高）的環(huán)境中使用高靈敏度設(shè)備會增加重合誤差（同時通過誤差）的風(fēng)險，即多個顆粒被誤識別為一個顆粒。因此，選擇可測量顆粒濃度合適的設(shè)備至關(guān)重要，該設(shè)備應(yīng)具有足夠的測量上限裕度，以應(yīng)對環(huán)境中的預(yù)期濃度。

2. 符合計量單位和標(biāo)準(zhǔn)

國際標(biāo)準(zhǔn)，例如 ISO 14644-1 和美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) (Fed.Std. 209E)，均用于評估潔凈度。因此，事先確認設(shè)備輸出測量結(jié)果時的參考體積（單位）是每立方米 ( m3 ) 還是每立方英尺 ( ft3 ) 至關(guān)重要。然后，通過選擇符合所用潔凈室標(biāo)準(zhǔn)單位制的型號，或選擇具有單位轉(zhuǎn)換功能的型號，即可順利進行數(shù)據(jù)管理。