日系產(chǎn)線 MIYUKI 美幸輝伺服真空閘閥 GAR-J200B

日系產(chǎn)線 MIYUKI 美幸輝伺服真空閘閥 GAR-J200B

通徑規(guī)格：DN200（200A），JIS 日標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)法蘭，日系進(jìn)口真空設(shè)備直裝無需改開孔尺寸

真空工作區(qū)間：常壓 10?Pa～1×10??Pa，全壓力區(qū)間線性穩(wěn)定調(diào)節(jié)

泄漏標(biāo)準(zhǔn)：閥座內(nèi)泄漏≤1×10?1?Pa?m3/s，閥桿軸封外泄漏≤1×10?1?Pa?m3/s，通過半導(dǎo)體行業(yè)氦檢驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)

介質(zhì)接觸面材質(zhì)：SUS304 低放氣鏡面拋光不銹鋼，無塵潔凈車間完成裝配與檢漏檢測

密封配件：標(biāo)配 FKM 氟橡膠 O 圈；等離子、強(qiáng)腐蝕酸堿氣體工況可升級 Kalrez 全氟醚密封件

耐溫性能：閥體最高耐受 150℃，支持腔體高溫烘烤除氣；伺服電機(jī)使用環(huán)境溫度≤40℃，驅(qū)動頭部不可高溫烘烤

驅(qū)動結(jié)構(gòu)：伺服電機(jī)一體式直驅(qū)，無齒輪傳動間隙，0~90° 全行程無級開度調(diào)節(jié)，閥位無漂移、無反彈

斷電安全特性：標(biāo)配電磁剎車抱閘，失電瞬間鎖死當(dāng)前閘板開度，防止大氣倒灌損壞腔體內(nèi)工件；可按需定制失電全關(guān)版本

供電與控制：AC100~230V 單相寬幅供電，最大功耗 180W；DC0~10V 模擬量開度控制，搭載 RS232 通訊接口，支持雙路真空計(jì)輸入，上位機(jī) PID 全自動穩(wěn)壓調(diào)節(jié)，同步輸出實(shí)時閥位反饋信號

使用環(huán)境：環(huán)境溫度 0~55℃，濕度≤85% 無凝露，兼容 Class1000 無塵潔凈車間

安裝特性：無介質(zhì)流向限制，水平、垂直、倒置多角度均可安裝

產(chǎn)品核心特性

閥體內(nèi)部無外露金屬滑動摩擦構(gòu)件，運(yùn)行產(chǎn)塵、氣體析出極低，滿足半導(dǎo)體無塵量產(chǎn)嚴(yán)苛潔凈標(biāo)準(zhǔn)；伺服直驅(qū)響應(yīng)速度快，微小開度氣流線性平穩(wěn)，全程無真空壓力震蕩；啟閉、微量調(diào)節(jié)靜音低震動，不干擾磁控濺射、OLED 連續(xù)蒸鍍等精密制程；閘式流線內(nèi)腔流阻小、大通流抽氣效率高，大幅縮短巨型腔體預(yù)抽時間；斷電剎車安全結(jié)構(gòu)，突發(fā)停電持續(xù)維持腔體真空，顯著降低生產(chǎn)報(bào)廢不良；標(biāo)準(zhǔn)化 JIS 日標(biāo)法蘭，適配全部日系進(jìn)口真空設(shè)備改造替換，支持 7×24 小時不間斷連續(xù)穩(wěn)定運(yùn)行。

應(yīng)用場景

適配巨型大容量真空腔體穩(wěn)壓、梯度泄壓、分段充氣工藝，多用于半導(dǎo)體量產(chǎn)等離子刻蝕、寬幅大面積 ITO 磁控濺射、連續(xù)式 OLED 蒸鍍設(shè)備；鋰電自動化產(chǎn)線巨型真空除氣爐、高溫真空熱處理釬焊爐；光伏寬幅光學(xué)鍍膜量產(chǎn)產(chǎn)線；科研院所大型高真空實(shí)驗(yàn)艙、大型氦質(zhì)譜檢漏成套工裝；新材料、精密儀器巨型高真空主抽管路等高潔凈超大流量精密真空工藝場景。

日崎是深耕歐美、日本精密工業(yè)品的化集成服務(wù)商，2025 年正式落地成都設(shè)立西南總部，依托四川自貿(mào)區(qū)進(jìn)出口政策，輻射西南半導(dǎo)體、汽車、醫(yī)療、精密制造全產(chǎn)業(yè)鏈采購需求。

集團(tuán)布局：國內(nèi) 5 家分支機(jī)構(gòu)、海外 6 家服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)，合作7000 + 工業(yè)品牌，常備超 100 萬種工業(yè)品現(xiàn)貨，打造一站式進(jìn)口工業(yè)品采購平臺，主打現(xiàn)貨直供、選型技術(shù)支持、進(jìn)出口報(bào)關(guān)一體化服務(wù)。