一、引言

化學氣相沉積（CVD）與物理氣相沉積（PVD）作為現(xiàn)代薄膜沉積工藝的兩大支柱，廣泛應用于半導體制造、光學鍍膜、太陽能電池、LED芯片及硬質涂層等核心領域。這兩類工藝的共同特點在于：工藝過程均在真空或低壓環(huán)境下進行，對管路系統(tǒng)的氣密性、潔凈度、耐溫性及抗振性能有著極為嚴格的要求。

在CVD/PVD設備的配套管路系統(tǒng)中，螺紋連接型柔性軟管是最為常見的管路元件之一。它承擔著連接真空泵組、工藝氣體輸送、冷卻水循環(huán)及尾氣排放等多重功能。然而，不同工況對軟管的結構形式、接頭類型、材質等級及密封方式有著截然不同的需求——選型不當輕則導致安裝困難、維護頻繁，重則引發(fā)微漏、污染乃至工藝失效。

日本NFK南國工業(yè)株式會社（南國フレキ工業(yè)）作為精密金屬柔性軟管領域的專業(yè)制造商，其螺紋柔性軟管產品線覆蓋了從NK-1000到NK-3400的多個系列，每個系列在結構設計、接頭形式、適用場景上各有側重。玉崎科學儀器（深圳）有限公司作為NFK南國工業(yè)株式會社中國授權代理商，依托專業(yè)的技術團隊和深圳倉庫的現(xiàn)貨儲備，致力于為中國CVD/PVD鍍膜行業(yè)客戶提供精準的管路選型與配套服務。

本文將對NFK螺紋柔性軟管NK-1000至NK-3400系列進行全面對比解析，幫助CVD/PVD設備工程師根據實際工況做出優(yōu)選型決策。

二、NFK螺紋柔性軟管系列總覽

NK系列螺紋柔性軟管是NFK南國工業(yè)專為工業(yè)配管系統(tǒng)設計的金屬波紋軟管產品線，其主要功能包括：

• 配管安裝誤差調整：補償管路安裝過程中的對位偏差；

• 管道位移吸收：吸收設備運行中產生的熱脹冷縮及機械位移；

• 振動緩和：有效衰減泵組及運動部件產生的振動傳遞；

• 運動支撐：適配設備的動態(tài)位移需求。

所有NK系列螺紋軟管均不可吸收管道扭轉變形，安裝時需注意避免扭轉應力。

三、各系列產品詳解與對比

3.1 NK-1000系列：標準活接頭型柔性軟管

NK-1000是NFK螺紋柔性軟管產品線的基礎型號，也是應用最為廣泛的通用型產品。

結構特點：波紋管兩端焊接活接套環(huán)（Union Collar），再裝配活接頭（Union Fitting），形成完整的活接頭連接結構。

適用管材：STD標準鋼管

公稱通徑：8A～65A（通徑80A及以上需選用NK-1200）

長度范圍：200mm～10M（可協(xié)商定制）

材質配置：

• 波紋管：SUS304 / SUS316L

• 金屬網套：SUS304

• 活接頭本體：可鍛鑄鐵（FCMB）/ SCS13（對應SUS304）/ SCS16（對應SUS316L）

• 活套法蘭：SUS304 / SUS316L

• 密封墊片：T/#1995 / PTFE / NBR

工況參數(shù)：

• 可鍛鑄鐵活接頭：適用溫度-10～100℃，更換墊片后最高200℃

• 不銹鋼活接頭：適用溫度-40～200℃

• 工作壓力：0.1～1.0MPa

• 適用介質：水、油品、空氣、蒸汽、各類化學藥液（限不腐蝕不銹鋼的介質）

適用場景：CVD/PVD設備的通用配管連接，尤其適用于需要頻繁拆裝維護的管路節(jié)點。

3.2 NK-1100系列：安裝接頭型柔性軟管

NK-1100在NK-1000的基礎上進行了接頭形式的優(yōu)化，采用安裝接頭（Mounting Joint）結構。

公稱通徑：10A～50A

核心定位：適合對安裝便捷性有較高要求的場景，接頭結構經過優(yōu)化設計，便于快速裝配。

適用場景：CVD/PVD設備中空間受限、需要快速安裝的管路連接點。

3.3 NK-1200系列：多用途活接式柔性軟管

NK-1200可視為NK-1000的大通徑延伸版本，專為大管徑配管需求而設計。

結構特點：與NK-1000相同的活接套環(huán)+活接頭結構

公稱通徑：80A及以上

長度范圍：200mm～10M

核心定位：當配管通徑超過65A時，NK-1000已無法覆蓋，需升級至NK-1200系列。

適用場景：CVD/PVD設備中大口徑的真空主抽管路、冷卻水主管路等。

3.4 NK-1300系列：內插式（內螺紋插座型）柔性軟管

NK-1300采用內螺紋插座（RC錐管內絲）接頭結構，管體直接焊接RC錐管內絲接頭。

結構特點：波紋管兩端直接焊接RC錐管內螺紋插座，形成一體化結構

適用管材：STD標準型 / SA柔軟型 / CLT超柔軟型（需根據使用條件選擇）

核心定位：適用于需要內螺紋連接的管路系統(tǒng)，錐管螺紋（RC）密封性能優(yōu)異，適合高壓或高真空工況。

適用場景：CVD/PVD設備中需要內螺紋接口的氣體管路、真空管路連接。

3.5 NK-1500系列：外螺紋接頭型柔性軟管

NK-1500采用外螺紋接頭（R公頭）結構，接頭與波紋管焊接為一體。

結構特點：波紋管兩端焊接R錐管外螺紋接頭，一體化結構設計

公稱通徑：8A～65A（80A以上使用NK-1200）

長度范圍：200mm～10M

材質配置：與NK-1000系列一致

核心定位：適用于需要外螺紋連接的管路系統(tǒng)，R錐管外螺紋與RC錐管內螺紋配合使用，密封可靠。

適用場景：CVD/PVD設備中需要外螺紋接口的工藝氣體輸送管路、真空測量接口等。

3.6 NK-1900系列：活接接頭型柔性軟管

NK-1900采用活接接頭（Union Joint）結構，是NK-1000的變種型號。

結構特點：活接接頭結構設計，便于快速拆裝

核心定位：在保留活接頭便利性的同時，針對特定工況進行了結構優(yōu)化。

適用場景：CVD/PVD設備中需要頻繁拆裝維護的管路節(jié)點。

3.7 NK-2000系列：細長接頭型（金屬接觸）柔性軟管

NK-2000是NFK螺紋軟管產品線中特色的一款，采用金屬硬密封（金屬接觸密封） 技術。

結構特點：波紋管焊接緊湊型細長活套接頭，采用金屬端面硬密封凸臺結構，無需使用密封墊片。

適用管材：STD標準型 / SA柔軟型 / CLT超柔軟型

公稱通徑：6A～65A

長度范圍：8A-20A規(guī)格為200mm～10M

接頭配置：

• NK-2000MM：兩端外螺紋適配器

• NK-2000FF：兩端內螺紋適配器

核心優(yōu)勢：

• 無墊片密封：金屬與金屬直接接觸密封，不受溫度變化對墊片老化的影響

• 耐溫范圍廣：消除了墊片材質對溫度的限制

• 不易扭轉：金屬接頭為活動零件，配管時不易扭曲

適用場景：CVD/PVD設備中高溫工藝管路（如LPCVD加熱區(qū)管路）、高真空系統(tǒng)、不允許墊片污染的高潔凈度場合。

3.8 NK-3400系列：輕型活接型（非焊接）柔性軟管

NK-3400是NFK螺紋軟管產品線中技術最為先進的型號，采用無焊接壓接工藝和金屬端面硬密封技術。

結構特點：采用專用輕型活套接頭，通過壓接工藝與波紋管裝配，全程無焊接結構。

適用管材：STD標準型

公稱通徑：8A～25A

長度范圍：200mm～10M

接頭配置（全部金屬端面硬密封）：

• NK-3400MM：兩端外絲接頭

• NK-3400FF：兩端內絲接頭

• NK-3400MF：一端外絲+一端內絲接頭

工況參數(shù)：

• SS400碳鋼接頭：使用溫度-10～250℃

• 不銹鋼接頭：使用溫度-40～450℃（僅波紋管本體耐溫，未計入密封配件限制）

• 工作壓力：0.1～1.0MPa

• 適用介質：水、油品、空氣、蒸汽、化學藥液（限不腐蝕不銹鋼的介質）

核心優(yōu)勢：

• 無焊接工藝：壓接裝配避免了焊接熱影響區(qū)對材質的損傷，耐腐蝕性更佳

• 金屬硬密封：無需墊片，不受溫度對密封件老化的影響

• 超寬耐溫范圍：不銹鋼接頭款可達-40～450℃，是NK系列中耐溫最高的型號

• 輕量化設計：專為柔性設計的輕型接頭，重量更輕

可選配件：

• 玻纖隔熱包覆層（GB） ：波紋管外層包裹編織玻纖布，隔絕管內外高溫影響

• 阿樂斯橡塑保溫層（AF） ：防止波紋管外壁結露

適用場景：CVD/PVD設備中高溫、高潔凈度要求的核心工藝管路，如MOCVD反應腔加熱區(qū)連接、LPCVD高溫爐管連接、PVD濺射腔體高溫區(qū)域管路等。

四、選型對比總結與建議

為便于CVD/PVD設備工程師快速選型，現(xiàn)將各系列核心差異整理如下：

選型建議：

1. 通用配管：優(yōu)先選擇NK-1000系列，性價比高，適用范圍廣。

2. 大通徑管路（80A以上）：必須選用NK-1200系列。

3. 高溫工藝管路（200℃以上）：推薦NK-2000（金屬硬密封，無墊片老化問題）或NK-3400（耐溫可達450℃）。

4. 超高潔凈度要求（如MOCVD、半導體鍍膜）：推薦NK-3400系列，無焊接工藝避免了焊接污染風險，金屬硬密封杜絕了墊片釋氣。

5. 空間受限場合：可選用NK-1100安裝接頭型，便于快速裝配。

6. 接口類型匹配：根據現(xiàn)場管路接口類型選擇NK-1300（內螺紋）或NK-1500（外螺紋）。

五、結語

CVD/PVD鍍膜設備的真空管路系統(tǒng)是保障工藝穩(wěn)定性和產品良率的關鍵環(huán)節(jié)。螺紋柔性軟管雖小，但其選型是否得當直接影響著整個真空系統(tǒng)的氣密性、耐溫性和長期可靠性。

NFK南國工業(yè)NK系列螺紋柔性軟管產品線覆蓋了從通用配管到高溫高潔凈核心工藝的完整工況需求。其中，NK-1000系列作為通用型產品滿足日常配管需求，NK-2000系列以金屬硬密封技術解決高溫無墊片密封難題，而NK-3400系列則憑借無焊接壓接工藝和超寬耐溫范圍（-40～450℃），成為CVD/PVD鍍膜設備核心工藝管路的理想選擇。

玉崎科學儀器（深圳）有限公司作為NFK南國工業(yè)株式會社中國授權代理商，致力于為中國CVD/PVD鍍膜行業(yè)客戶提供專業(yè)的產品選型、技術咨詢與售后維護服務。如您正在進行CVD/PVD設備的真空管路配套選型，或面臨管路泄漏、耐溫不足等工藝困擾，歡迎聯(lián)系玉崎科學儀器（深圳）有限公司，獲取專業(yè)的NFK螺紋柔性軟管選型與技術方案支持。

（本文作者：玉崎科學儀器（深圳）有限公司 技術部）