在半導體制造、液晶面板生產、熱處理工藝及惰性氣體保護等工業場景中,氧濃度的精準在線監測是保障產品質量與工藝安全的關鍵環節。TORAY(東麗)LC-450A氧化鋯氧氣表(氧濃度計)憑借其寬量程、高精度、長壽命及易集成的特性,已成為工業氧氣在線檢測領域備受關注的經典機型。本文對LC-450A的技術特點與核心規格進行系統介紹,為相關行業的設備選型提供參考。
一、產品概述
TORAY LC-450A是一款基于氧化鋯濃差電池技術的高性能氧氣濃度計,由日本東麗工程株式會社基于多年氧氣濃度計研發經驗與市場業績開發而成。該設備僅需一臺即可完成從低濃度(ppm級)到100%氧氣濃度的全量程測量。LC-450A提供桌面型與面板安裝型兩種形態,廣泛應用于半導體、液晶、工業爐、食品包裝、氣體純化、環保排放監測及熱處理爐氣氛控制等領域。
二、核心技術:氧化鋯濃差電池傳感器
LC-450A的核心測量元件為東麗自主研發的超小型氧化鋯(ZrO?)傳感器。該傳感器基于氧化鋯濃差電池原理工作——通過測量樣品氣體與參比氣體(大氣)之間的氧分壓差,直接計算出氧氣體積濃度。這一技術路線帶來以下核心優勢:
全量程覆蓋:從痕量級(ppm)到高濃度(100%)均可實現精準測量
長期穩定性:氧化鋯傳感器具備優異的化學穩定性與熱穩定性,可在工業環境中長時間穩定運行
高精度輸出:配合智能算法,實現全量程高精度氧含量測量
三、主要特點
1. 超寬測量范圍
LC-450A可顯示從ppm級到100%的寬范圍濃度,測量范圍覆蓋0.1ppm~100vol% O?。顯示支持自動量程或4量程配置,記錄儀輸出量程可在0-10/100/1000ppm/100%及1/10/100/1000/10000ppm、1/10/100%、10?2?至10? atm之間靈活組合。(注:0至1ppm量程及atm量程為參考值,不保證精度)
2. 傳感器耐久性提升
氧傳感器經過特殊處理與特殊涂層工藝,實現了超越傳統產品的耐用性。這一設計顯著延長了傳感器的使用壽命,降低了用戶的長期運維成本。
3. 寬幅電源適配
支持AC100~240V寬幅交流電源,適應不同國家和地區的電網標準。另有DC 24V直流電源規格產品(LC-450D)可供選擇。
4. 緊湊設計與便捷安裝
相比傳統型號,LC-450A的深度進一步縮短,占用空間更少。整機尺寸為210(寬)×134(高)×300(深)mm(不含突出部分),重量約6kg,支持桌面放置與面板嵌入兩種安裝方式。
5. 國際標準認證
產品符合CE、UKCA安全認證(EN61010-1)及EMC電磁兼容認證(EN61326-1),并滿足RoHS環保指令要求。
6. 可選過濾附件
為保障傳感器長期穩定運行并確保測量準確性,LC-450A提供三類可選過濾器:
活性炭過濾器:吸附微量有機物及少量可燃氣體,防止雜質進入傳感器,同時避免被測氧氣在傳感器內部燃燒,確保讀數準確
棉過濾器:防止粉塵及固體顆粒物進入氧氣濃度計或粘附于傳感器,防止設備劣化
硅過濾器:吸附含硅氣體,防止含硅氣體進入傳感器導致傳感器劣化,確保測量精度
四、詳細規格參數
| 項目 | 規格 |
|---|---|
| 測量原理 | 氧化鋯濃差電池式 |
| 形狀 | 桌面型 / 面板安裝型 |
| 顯示方式 | 4位數字顯示(濃度顯示) |
| 測量范圍 | 0.1ppm~100vol% O? |
| 顯示量程 | 自動量程或4量程配置 |
| 記錄儀輸出 | 0-10/100/1000ppm/100% 及組合量程 |
| 采樣方式 | 內置泵連續吸入式 |
| 供氣量 | 1,000~2,000 mL/min |
| 傳感器氣體量 | 60±10 mL/min |
| 氣體連接口 | INLET(樣氣入口)Rc1/4 / BYPASSOUT(旁通出口)Rc1/4 / OUTLET(樣氣出口)Rc1/4 |
| 參考氣體 | 大氣 |
| 重復性 | ±1%FS(0~10 ppm范圍及以上) |
| 空氣點穩定性 | ±1%FS/24小時內 |
| 氣體響應性 | 30秒內(90%響應) |
| 預熱時間 | 6分鐘以內 |
| 外形尺寸 | 210(W)×134(H)×300(D)mm(不含突出部分) |
| 重量 | 約6 kg |
| 電源 | AC100~240V |
| 功耗 | 50VA(標準:35VA) |
| 安裝條件 | 室內、非防爆區域;環境溫度0~40°C;濕度20~85% RH(無凝露) |
五、輸出與通信規格
LC-450A配備的信號輸出與通信接口:
記錄儀輸出:外部輸出4~20mA或0~20mA(0~10V可選)
傳輸輸出:符合RS-232C標準(單向)
接點輸出:設備異常(無電壓接點);濃度報警(可從HH、H、L、LL中選擇2點);預熱信號(無電壓接點);量程標記輸出(2點輸出)
自診斷功能:涵蓋傳感器溫度異常、校準異常、內部溫度異常、CPU異常、爐內溫度異常、預熱異常、非對稱電位異常、傳感器電阻值異常、AIR點校準異常、SPAN點校準異常等
六、應用領域
LC-450A憑借其寬量程、高精度與高可靠性的綜合優勢,廣泛應用于以下工業場景:
半導體制造:晶圓加工、封裝工藝中的氧含量精準控制
液晶/平板顯示:面板制造過程中的惰性氣氛監測
熱處理/工業爐:燒結爐、氮氣爐、回流焊爐的氣氛控制
食品包裝:氣調包裝(MAP)中的氧含量監測
氣體純化:制氮機、高純氣體生產中的氧濃度檢測
環保監測:工業排放氣體中的氧含量檢測
手套箱/實驗室:惰性氣體保護環境中的氧濃度監控
七、選型建議
LC-450A為標準型產品,適用于常規工業在線氧濃度監測場景。若現場僅提供DC 24V電源,可選用同系列的LC-450D直流電源規格型號。若需同時監測多個測量點(最多8點),可考慮TORAY MS-500系列多點氧氣濃度計;若需達到ppb級超高精度測量,可選用LC-860系列。選型時還需根據樣氣中可能存在的雜質成分,選配活性炭過濾器、棉過濾器或硅過濾器,以保障傳感器長期穩定運行。
關于玉崎科學儀器
玉崎科學儀器(深圳)有限公司已正式成為日本TORAY(東麗)在中國地區的授權代理商。依托其深耕日系儀器多年的渠道經驗與覆蓋全國的銷售服務網絡,玉崎科學儀器為國內半導體、液晶、新能源及科研領域的客戶提供TORAY全系列產品——包括氧氣分析儀、超聲波換能器、總有機碳分析儀及水聽器等——從選型到售后的專業技術支持與服務。
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