一、系列概述：DIS系列的雙繞式渦旋技術

ULVAC（愛發科）DIS系列是采用雙繞式渦旋結構的干式真空泵系列，含1根軌道螺旋和2根固定螺旋。其核心工作原理是通過固定螺旋壁與從動螺旋壁之間的偏心運動來實現氣體的吸入、壓縮和排出。

與DISL系列（單繞式，側重耐粉塵和水蒸氣處理）不同，DIS系列的核心優勢在于更高的極限真空度和更大的排氣量，適用于對真空度要求更為嚴苛的工藝場景。

DIS系列主要型號包括：

二、DIS-501核心規格詳解

DIS-501是DIS系列中的大流量旗艦型號，其詳細技術參數如下：

排氣性能：

• 設計抽速：500 L/min（50Hz）/ 600 L/min（60Hz）

• 極限壓力：1.0 Pa（達到干式真空泵的最高壓力水平）

• 水蒸氣處理量：≤25 g/day（AF開啟時，室溫25℃、濕度60%以下）

電氣規格：

• 單相電源：100/115/200/230V，600W，4P，電容器啟動/運行

• 三相電源：200/208/230/380/400/415/460V，600W，4P

• 全負荷電流（單相）：8.5/4.3/3.9A（100/200/230V）

物理參數：

• 吸氣口徑：KF-40 | 排氣口徑：KF-25

• 重量：單相44kg / 三相38kg

• 外形尺寸（單相）：290(W)×443(L)×397(H) mm

• 使用環境溫度：5～40℃

• 噪音水平：單相≤62dB / 三相≤60dB（AF開啟時≤70/68dB）

三、關鍵技術特點

1. 雙繞式渦旋結構
含1根軌道螺旋和2根固定螺旋，相比單繞式結構可實現更高的壓縮比和極限真空度。主要部件經過特殊表面處理，實現了高耐腐蝕性。

2. 大氣壓下直接啟動
可在大氣壓下直接操作運行，無需預抽真空，大幅簡化了系統設計和操作流程。

3. 空氣沖洗（Air Flash）功能
通過空氣沖洗操作，不僅能有效排出泵內殘留的水分，還具有恢復極限壓力的效果。這一功能對抑制水蒸氣凝結尤為關鍵。

4. 安全設計
單相規格內置自動復位型熱保護器。三相規格雖無電機保護功能，但建議安裝漏電斷路器等保護裝置。產品已通過cTUVus國際第三方安全認證。

5. 維護便捷
維護周期可通過計時表控制，便于制定預防性維護計劃。

四、典型應用領域

DIS-501憑借其大流量和高真空特性，廣泛應用于以下場景：

• 半導體制造工藝：刻蝕設備、灰化設備、等離子清洗設備等真空排氣系統

• 分析設備：質譜儀、電子顯微鏡等精密分析儀器的真空系統

• 真空熱處理：燒結爐、滲碳爐等熱處理設備的真空排氣

• 鋰電池制造：電極干燥設備、脫氣設備、注液設備等

• TMP（渦輪分子泵）的前級泵：為高真空系統提供預抽

• 氦氣檢漏儀：檢漏系統的真空源

• 涂裝設備：真空涂裝工藝

• 氣體回收系統：工藝氣體的回收與循環

五、選型建議

在選擇DIS系列產品時，建議根據以下維度進行評估：

六、供應與服務：玉崎科學的專業支持

玉崎科學儀器（深圳）有限公司已正式成為日本ULVAC愛發科的授權代理商，雙方致力于將ULVAC的高品質真空技術產品高效導入中國市場。玉崎科學在真空泵領域積累了豐富的產品經驗，覆蓋渦旋式、螺桿式、多級羅茨式等多種干式真空泵品類。

選擇玉崎科學作為DIS-501的供應伙伴，可獲得以下專業服務：

• 正品保障：原廠授權代理，確保產品來源正規可靠

• 現貨供應：多款型號常備庫存，縮短交付周期

• 專業技術支持：依托ULVAC的真空技術背景，提供選型咨詢與售后支持

• 產品線齊全：除DIS系列外，還可提供ULVAC全系列真空泵、真空閥門、檢漏儀及真空測量儀器等配套產品

如需獲取DIS-501的詳細報價、技術資料或選型支持，可通過玉崎科學儀器（深圳）有限公司進行咨詢。