池田屋 Otsuka大塚電子 智能薄膜測厚儀

池田屋 Otsuka大塚電子 智能薄膜測厚儀

日本大塚電子（OTSUKA Electronics）全行業用途

大塚電子核心依托MCPD 多通道分光光譜、顯微分光膜厚測量、動態光散射納米粒徑 / Zeta 電位檢測三大核心技術，主營顯微分光膜厚儀、在線嵌入式膜厚檢測系統、分光測色亮度設備、ELSZ 納米粒度電位分析儀、三維光場顯微鏡，實現非接觸、非破壞、微區高速光學檢測，覆蓋半導體、平板顯示、AR/VR 光學、新能源鋰電光伏、車載光學照明、光通信光學元件、新材料納米化工、生物醫藥食品化妝品、印刷包裝、科研實驗室等行業。

半導體與第三代半導體行業（核心主力應用）

適配 6/8/12 英寸晶圓無塵、真空全制程，OPTM、FE、SMART 系列膜厚儀最小 3μm 微區測量，1 秒單點檢測，可測 1nm~92μm 多層薄膜厚度、折射率 n、消光系數 k大冢電子。前道工序監控硅片氧化膜、氮化膜、光刻膠、抗反射層、CMP 研磨膜層厚度；SiC、GaN、GaAs 寬禁帶化合物半導體外延層、鈍化膜精準質控；晶圓缺陷點位微小區域膜厚掃描、布線金屬薄層檢測；可集成真空腔體嵌入式在線監測濺射、蒸鍍成膜厚度；配套 ELSZ 系列檢測 CMP 研磨液、光刻膠剝離液納米顆粒粒徑與分散穩定性，分析晶圓表面雜質膠體吸附行為，全程無損傷不污染晶圓，適配芯片研發、量產在線全流程檢測。

平板顯示 LCD/OLED/Mini/Micro LED 行業

擁有二十年顯示行業成熟檢測方案，分光系統適配玻璃基板全制程光學與膜厚檢測。TFT 液晶彩色濾光片穿透光譜、色坐標、色差檢測；OLED 有機發光層、封裝阻隔膜、ITO 透明導電層膜厚測量；偏光片、相位差膜、TAC 光學薄膜相位差、透過率、反射率批量檢測；Mini LED 背光微透鏡涂層、防指紋硬化膜、AR 減反膜在線卷對卷監測；曲面屏、柔性 PI 基板多層涂布膜均勻度掃描；產線搭載多通道分光系統實現高速連續在線檢測，管控面板色彩不均、膜層厚薄不均，提升顯示對比度與良品率。

AR/VR/MR 光學模組行業

Pancake 折疊光路模組偏光片貼合角度、相位差、盒厚高精度檢測；LCoS 微顯示芯片多層光學薄膜、彩色濾光片特性評價；VR 鏡片 AR 鍍膜、防藍光涂層膜厚與反射光譜測量；光波導導光膜、耦合光柵薄層微區掃描；光學膠、遮光層微小區域分層厚度解析，用于 VR/AR 終端光學方案研發與出廠全檢，解決畫面色散、重影、透光率不足問題。

新能源鋰電、光伏、鈣鈦礦行業

鋰電領域：極片導電劑涂層、隔膜陶瓷涂層、固態電解質薄膜厚度檢測；NMP 涂布液、漿料納米粒徑、Zeta 電位分析，評估漿料分散穩定性；真空注液隔離膜、封裝防護膜膜層質控；

光伏 / 鈣鈦礦：硅基電池減反膜、鈍化層膜厚在線監測；鈣鈦礦電池 ETL、HTL、鈣鈦礦吸光層多層薄膜測量；卷對卷鈣鈦礦涂布產線嵌入式實時監控；燃料電池催化薄膜、碳納米管漿料顆粒表征，輔助優化電池光電轉換、充放電循環穩定性。

車載光學、照明與車燈行業

車載攝像頭、激光雷達光學鏡頭 AR 鍍膜、紅外濾光片光譜與膜厚檢測；ADAS 顯示屏幕色度、亮度、對比度均勻度測試；LED、OLED 汽車大燈、日行燈光譜、色溫、顯色指數精準分析；車窗隔熱膜、隱私膜透光率、阻隔涂層厚度測量；車規硬化涂層、防污薄膜光學性能評價，滿足高低溫、振動車規嚴苛檢測標準。

光通信、光學元件與精密光學行業

光纖耦合透鏡、分光棱鏡、干涉儀鏡片多層光學薄膜膜厚、反射透射光譜檢測；光學濾光片、窄帶增透膜微區分層解析；激光諧振腔鏡片、紅外窗口涂層厚度質控；光學膠、粘合薄層微小區域測量；MCPD 分光系統搭建光路校準平臺，用于無源光器件、高速光模塊研發與量產質檢。

新材料、納米化工、高分子行業

ELSZ-neo 分析儀測試納米粉體、碳納米管、富勒烯、金屬氧化物顆粒粒徑分布、Zeta 電位，評估膠體分散穩定性；高分子薄膜、PET/PEN/PC 功能膜、離型膜、膠粘層膜厚測量；涂料、油墨、陶瓷漿料、拋光液微觀顆粒表征；防腐涂層、硬質陽極氧化膜、光學硬化膜折射率與膜層均勻度分析；可完成溶液 pH 梯度下顆粒絮凝、表面改性效果定量評價，適配新材料配方研發、生產質控。

生物醫藥、醫療器械、化妝品行業

生物醫藥：藥物遞送納米膠囊、脂質體粒徑與表面電位檢測；蛋白、生物膠體熱變性溫度分析；醫用透析膜、無菌包裝薄膜厚度、透光性檢測；病理載玻片涂層微區測量；

化妝品：乳液、粉底、防曬乳納米粉體分散性測試；護膚品功能性薄膜、面膜基材涂層膜厚質控；醫美光學鏡片、醫用內窺鏡鏡頭鍍膜光學特性檢測；設備低析出、潔凈無金屬污染，滿足 GMP 潔凈檢測要求。

食品、包裝、印刷行業

食品包裝 PET、PP 功能性阻隔薄膜、保鮮涂層膜厚非接觸檢測；食品著色劑、飲料溶液光譜吸光度、濃度定量分析；印刷油墨納米色粉粒徑、分散穩定性測試；防偽光學膜、燙金薄膜反射光譜與涂層厚度測量；彩色印刷品色差、光澤度、透過率批量檢測，管控包裝透光、保鮮、印刷色彩一致性。