普發渦輪分子泵真空機組 HiCube 80 Eco  DN63 CF-F產品介紹

一、產品概述

普發（Pfeiffer Vacuum）HiCube 80 Eco 是一款普發緊湊經濟型超高真空泵組，由 HiPace 80 渦輪分子泵與 MVP 015-4 干式隔膜前級泵組合而成。該機組采用緊湊的臺式設計，具備“即插即用"的便捷操作特性，是高真空及超高真空應用的理想解決方案。

本產品高真空接口為 DN 63 CF-F（金屬密封法蘭，符合 ISO 3669 標準），前級泵采用 MVP 015-4 干式隔膜泵，整機由艾禾真空全國供貨，現貨充足，并提供一年質保與完備的售后服務。

二、技術參數

該機組采用 HiPace 80 渦輪分子泵與 MVP 015-4 干式隔膜前級泵的黃金組合。HiPace 80 提供高達 67 l/s 的氮氣抽速，配合 MVP 015-4 前級泵 0.75 m3/h 的抽速，可穩定實現 < 1 × 10?? hPa 的極限真空。整機風冷設計，無需外接冷卻水，極大簡化了安裝和使用條件。

關于 DN 63 CF-F 接口的優勢：CF-F（ConFlat Flange）金屬密封法蘭是超高真空應用的標準接口，采用金屬刀口與無氧銅墊圈配合實現密封-。相比 ISO-K 彈性體密封法蘭，CF-F 接口具有更低的放氣率、更高的耐烘烤溫度（可達 400°C）和更優異的極限真空度，特別適用于對真空潔凈度和本底真空度要求極為嚴苛的應用場景。

三、應用行業及場景

HiCube 80 Eco 憑借其出色的真空性能和緊湊靈活的設計，廣泛適用于科研與工業領域的高真空及超高真空應用。

科研與實驗室領域：

研發與實驗室應用：適用于各類科研機構的基礎研究和實驗驗證

分析與表面物理學：為表面分析、光譜學等精密分析儀器提供穩定的高真空環境

紅外原位分析平臺：廣泛應用于物化、環境、能源和醫藥科學等新材料新物質反應機理研究-

低溫阻抗測試：分析電子元器件在低溫真空環境下電阻的變化-

低溫真空探針臺：應用于半導體行業、光電行業、集成電路及封裝的低溫測試

工業與工藝領域：

真空工藝技術：適用于真空鍍膜、真空排氣臺等工藝過程

加速器：為粒子加速器提供必要的高真空條件

檢漏應用：適用于各類真空系統的檢漏檢測

真空管式爐：用于元素分析測定及新材料加熱處理

醫療導管抽真空：成功應用于醫療絕熱導管的抽真空工藝

小鍍膜系統：適用于小型真空鍍膜工藝

燈管生產：應用于燈具制造行業的真空工藝此外，HiCube 80 Eco 還可廣泛應用于氣體分析、殘余氣體分析、真空爐、低溫恒溫器抽真空等場景-。

四、產品特點

1. 即插即用，緊湊設計

普發緊湊經濟型超高真空泵組HiCube 80 Eco 采用高度集成的整機設計，出廠前已完成全套裝配與測試，用戶收到后可直接連接電源和真空腔體即可投入使用。整機重量僅 17 kg，體積小巧，可靈活放置在實驗臺或集成于設備機柜中。搭配 DCU 002 顯示控制單元，可實現泵組的便捷操作與真空度的實時監測。

2. 全干式無油真空，潔凈可靠

前級泵配備 MVP 015-4 干式隔膜泵，整個抽氣過程無需任何油類介質，保證系統獲得清潔無油的真空環境。這對于半導體測試、表面分析、質譜分析等對真空潔凈度要求高的應用尤為關鍵。

3. CF-F 金屬密封，超高真空性能

DN 63 CF-F 金屬密封法蘭接口使該機組能夠實現 < 1 × 10?? hPa 的極限真空，遠超 ISO-K 接口機組的 < 1 × 10?? hPa。CF-F 接口可耐受高溫烘烤，適用于對極限真空度和系統本底要求極為嚴格的應用場景。

4. 風冷設計，維護簡便

機組采用空氣冷卻方式，無需外接冷卻水系統，大幅降低了安裝成本和運行復雜度。同時，模塊化的結構設計使得日常維護和保養更加便捷。

5. 靈活配置，擴展性強

HiCube Eco 系列因其模塊化構造而具有豐富的組合可能，可連接各種渦輪泵和前級泵，適配高真空和超高真空領域的所有應用要求。該機組可搭配 Pfeiffer 真空計共同使用，并支持數據存儲功能，用戶可根據具體應用需求選配不同型號的真空規和顯示控制單元。

五、艾禾真空——您的信賴之選

艾禾真空作為專業的真空設備供應商，為全國客戶提供普發 HiCube 80 Eco 渦輪分子泵真空機組（DN 63 CF-F / MVP 015-4）的現貨供應。我們承諾：

全國供貨，現貨充足：產品庫存充足，下單后可快速發貨，最大限度縮短您的等待周期。

一年質保：提供自驗收之日起一年的整機質量保證，讓您采購無憂。

售后：擁有專業的技術支持團隊，為您提供從選型咨詢、安裝調試到售后維護的全流程服務。