安捷倫 VacIon Plus 75 StarCell 離子泵（無加熱款）產(chǎn)品介紹

75L/s 三極 StarCell 結(jié)構(gòu)?超高潔凈 XHV 無振動離子泵

安捷倫中型離子泵不帶加熱器VacIon Plus 75 StarCell北京艾禾真空全國現(xiàn)貨供應(yīng)，作為中型超高真空專用離子泵，本機(jī)氮?dú)獬樗?/span> 75L/s，搭載安捷倫專用技術(shù) StarCell 三極抽氣單元，在同等緊湊機(jī)身下實(shí)現(xiàn)大腔體高效抽氣，極限真空低至 1×10?11 mbar，無活動部件、低磁場、極低漏電流，適配高能物理、電鏡、表面分析、超導(dǎo)設(shè)備等嚴(yán)苛超高真空場景。整機(jī)原廠全新現(xiàn)貨，配套一年整機(jī)質(zhì)保與全流程技術(shù)支持，為各大科研院所、儀器廠商提供穩(wěn)定真空核心設(shè)備。

一、產(chǎn)品整體簡介

安捷倫中型離子泵不帶加熱器 VacIon Plus 75 是面向 UHV/XHV 超高中型離子泵，本款為不帶加熱器 StarCell 三極版本，機(jī)身尺寸與同系列 40L/s 機(jī)型保持一致，抽速提升至 75L/s，兼顧緊湊安裝空間與大腔體抽氣需求。核心搭載安捷倫原創(chuàng) StarCell 三極抽氣單元，對氫氣、氦氣、氬氣等惰性氣體擁有行業(yè)頂尖抽氣容量，解決普通二極泵難以捕獲稀有氣體的痛點(diǎn)。出廠經(jīng)過 400℃以上高溫真空烘烤、真空封止處理，出廠潔凈度拉低，無需現(xiàn)場長時(shí)間除氣；標(biāo)配 6 英寸 ConFlat 非旋轉(zhuǎn)主法蘭，預(yù)留 2.75 英寸輔助 CF 接口，高壓接頭支持多規(guī)格選型，可搭配光學(xué)擋板、磁屏蔽等配件，系統(tǒng)集成自由度高。無需內(nèi)置加熱器，適配無需高溫烘烤的潔凈真空腔體，廣泛用于學(xué)術(shù)科研、高能物理、精密分析儀器等高靈敏度設(shè)備。

二、九大核心產(chǎn)品特性

1. 多抽氣單元可選，StarCell 三極適配稀有氣體 可自由選用 StarCell 三極、Diode 二極、Noble Diode 改良二極、SEM 專用陽極四種抽氣結(jié)構(gòu)。本次 StarCell 型號依托星形陰極設(shè)計(jì)，大幅提升氬、氦等惰性氣體捕獲效率，氫氣抽速表現(xiàn)優(yōu)異，甲烷等氣體耐受容量更高。

2. 標(biāo)準(zhǔn)化 CF 法蘭，多規(guī)格高壓接頭可選 進(jìn)氣采用 6 英寸 ConFlat 不可旋轉(zhuǎn)法蘭，額外預(yù)留 2.75 英寸 CF 備用孔；高壓真空接頭提供 Fischer、SHV、King、DESY、Varian 多種型號，接頭安裝方向可定制，適配各類離子泵控制器接線布局。

3. 全無活動部件，零振動干擾 整機(jī)無轉(zhuǎn)子、軸承等運(yùn)動結(jié)構(gòu)，運(yùn)行全程無振動，不會干擾電鏡成像、探針臺、精密測量設(shè)備，是對振動零容忍超高系統(tǒng)的標(biāo)配。

4. 極低漏電流，真空讀數(shù)精準(zhǔn)穩(wěn)定 內(nèi)部陽極精密優(yōu)化，雜散漏電流控制在極低水平，離子流與真空度線性度優(yōu)異，可直接充當(dāng)內(nèi)置真空計(jì)，實(shí)時(shí)精準(zhǔn)讀取腔體壓力。

5. 低磁場設(shè)計(jì)，降低電子設(shè)備干擾 內(nèi)置磁屏蔽基底，泵體外泄磁場大幅削弱，不會影響電子束、離子束、超導(dǎo)線圈等精密元件工作，適配 SEM、TEM、FIB 等電鏡設(shè)備。

6. 出廠高溫真空預(yù)處理，潔凈度達(dá)標(biāo) 泵體出廠前完成 400℃以上高溫真空除氣，真空環(huán)境下密封封存，運(yùn)輸無雜質(zhì)污染，上機(jī)抽本底速度快，縮短設(shè)備調(diào)試周期。

7. 高度定制化設(shè)計(jì)，適配多元工況 可按需定制泵體外形、備用開孔、高壓接頭方位、抽氣單元排布，可選光學(xué)擋板、外部獨(dú)立加熱器、屏蔽磁體等拓展配件，滿足特殊腔體集成需求。

8. SEM 專用陽極方案可選，電子干擾最小化 同系列配套 SEM 專用陽極版本，通過減少空腔、鈍化金屬尖刺抑制漏電流，進(jìn)一步降低電子噪聲，適配各類電子光學(xué)設(shè)備。

9. 支持專屬定制測試程序，匹配特殊工藝 可根據(jù)用戶腔體氣體、壓力循環(huán)需求，定制專屬運(yùn)行測試程序，長期穩(wěn)定匹配專屬實(shí)驗(yàn)工況。

三、完整性能技術(shù)指標(biāo)

1. 核心運(yùn)行參數(shù) 氮?dú)鈽?biāo)稱抽速 75L/s；極限真空＜1×10?11 mbar；最大啟動壓力≤5×10?2 mbar；最高允許烘烤溫度 350℃（本款無內(nèi)置加熱器，僅支持外部烘烤）。

2. 單元壽命參數(shù) StarCell 三極單元標(biāo)準(zhǔn)使用壽命 80000 小時(shí)；Diode 二極單元使用壽命 40000 小時(shí)，長期運(yùn)行維護(hù)周期長，降低停機(jī)損耗。

3. 結(jié)構(gòu)與重量 進(jìn)氣法蘭 6 英寸 CFF（NW100），備用 2.75 英寸 CF 孔；不含加熱器裸泵自重 19kg（42lbs）；高壓接頭標(biāo)配 Fischer/SHV 兩種選型。

4. 加熱配套說明 本機(jī)為無加熱器版本，加熱器電壓 100-120/200-240V、功率 250W 為選配外置組件，如需高溫烘烤可單獨(dú)加裝外部加熱套件。

四、核心抽氣單元工作原理

1. 二極 Diode 離子泵原理

由鈦陰極與陽極環(huán)組成，腔體磁場約束電子形成等離子體，氣體分子電離后，輕離子穿透鈦陰極，重離子轟擊陰極濺射鈦膜；氫氣、氧氣等活性氣體與濺射鈦發(fā)生吸附反應(yīng)實(shí)現(xiàn)持續(xù)抽氣，但對氬、氦等惰性氣體捕獲能力薄弱。

2. StarCell 三極核心原理（本機(jī)標(biāo)配）

安捷倫原創(chuàng)星形三極結(jié)構(gòu)，增設(shè)獨(dú)立星形鉭陰極，專門解決惰性氣體抽除難題。氬、氦等中性高能粒子可被星形陰很高效捕獲，同時(shí)鈦陰極維持氫氣超高抽速，兼顧活性氣體與稀有氣體處理能力，是多氣體混合腔體靠譜選擇。

3. SEM 專用陽極優(yōu)化原理

采用平滑陽極結(jié)構(gòu)，消除腔體尖角、金屬晶須，減少雜散漏電流，降低離子流噪聲，真空測量精度大幅提升，避免電子束設(shè)備成像失真。

五、主流應(yīng)用場景

1. 高能物理與大型科研裝置 同步輻射光束線、粒子加速器、低溫真空試驗(yàn)艙、引力波探測平臺、聚變實(shí)驗(yàn)超高腔體，多稀有氣體共存工況推薦 StarCell 型號。

2. 電子光學(xué)精密儀器 掃描電鏡 SEM、透射電鏡 TEM、聚焦離子束 FIB、XPS/AES 表面能譜儀，低振動、低磁場、低噪聲特性保障成像與檢測精度。

3. 薄膜與新材料研發(fā) 超高真空鍍膜、分子束外延 MBI、超導(dǎo)材料制備、低溫探針臺，長期穩(wěn)定維持 XHV 本底真空。

4. 高校實(shí)驗(yàn)室真空平臺 表面物理、催化實(shí)驗(yàn)、吸附動力學(xué)、質(zhì)譜分析超高腔體，適配多元?dú)怏w實(shí)驗(yàn)循環(huán)。

5. 航天與特種裝備 空間環(huán)境模擬艙、衛(wèi)星部件真空檢漏、特種電子器件無塵超高真空封裝。

六、艾禾真空供貨與全流程售后保障

北京艾禾真空深耕超高真空設(shè)備供應(yīng)，安捷倫 VacIon Plus 75 StarCell 無加熱器離子泵全國常備現(xiàn)貨，無需進(jìn)口漫長排期，緊急科研項(xiàng)目可當(dāng)日出庫配送。

1. 原廠正品保障 全部設(shè)備為安捷倫設(shè)備，附帶原廠出廠真空檢測報(bào)告、尺寸圖紙、安裝手冊，無翻新、拆機(jī)品。

2. 整機(jī)一年質(zhì)保 設(shè)備交付起提供 12 個月整機(jī)質(zhì)保，非人為損壞的抽氣單元、高壓接口、泵體密封免費(fèi)檢修更換。

3. 一站式專業(yè)技術(shù)服務(wù) 售前提供腔體匹配選型、法蘭對接方案；到貨遠(yuǎn)程指導(dǎo)安裝、烘烤、控制器搭配調(diào)試；使用階段遠(yuǎn)程故障排查，現(xiàn)場技術(shù)支持按需上門。

4. 全系列配套物料庫存充足 常備 CF 銅墊圈、高壓線纜、4UHV 四通道離子泵控制器、光學(xué)擋板、外置加熱器、磁屏蔽等全套配件，整套真空系統(tǒng)一站式配齊。

5. 長期維保支持 質(zhì)保期滿后提供原廠級維修、單元更換、真空復(fù)烤服務(wù)，大幅延長泵體使用壽命，降低科研設(shè)備運(yùn)維成本。

無論是高校重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室、航天科研院所、電鏡設(shè)備廠商還是薄膜研發(fā)企業(yè)，艾禾真空均可提供完整超高真空成套解決方案，如需詳細(xì)參數(shù)圖紙、精準(zhǔn)報(bào)價(jià)、配套控制器搭配方案，歡迎聯(lián)系銷售團(tuán)隊(duì)一對一咨詢。