科賦樂只有數字通訊機型（EX 系列、ST?500PI、DF?300）支持修改 PID 參數；3660 模擬款 PID 參數出廠固化，用戶不可調整。氣體流量控制場景，一般只用 PI 控制，D 微分參數建議設置為 0，微分容易放大傳感器噪聲，造成流量高頻抖動。P 比例增益：決定響應速度，P 越大響應越快，P 過大會出現超調、流量震蕩。I 積分：消除穩態流量偏差；積分作用過強，會加劇超調與振蕩。D 微分：抑制超調，氣體 MFC 極少啟用，默認置 0。

調參前期準備

1、讀取并記錄原廠出廠 PID 默認參數，調參異常可以直接恢復出廠原始值；2、系統工況與實際整機保持一致，MFC 滿足最小工作壓差，氣源壓力穩定，后端管路、腔體、過濾器全部接好；3、完成 MFC 零點標定，設備通電預熱 15?20 分鐘；4、采用階躍信號做測試，常用 50% 滿量程階躍，觀察上升時間、超調量、穩定時間、是否持續震蕩；5、調參順序：先調 P，后調 I，D 保持為 0，禁止同時修改多個參數。

實操整定步驟

1、設置初始狀態，I 積分調弱，D=0，只保留 P 比例作用。逐步增大 P，給 50% 滿量程階躍信號。觀察流量變化，直到出現輕微流量震蕩，再把 P 適當降低，調到震蕩剛好消失，此時得到合適的 P 值。2、保持 P 參數不變，逐步開啟增大 I 積分。積分用來消除穩態流量靜差；I 不要設置過大，如果出現明顯超調、來回波動，立即調小 I。直到流量可以穩定到設定值，穩態偏差消除。3、重復階躍測試，使用 25%、50%、75% 量程分別測試，不同流量段確認響應。如果無特殊工藝需求，D 微分維持 0，不做改動。4、參數調試完成，保存本機參數。ST?500PI 壓力補償機型，修改 PID 后，壓力擾動工況需要再次做壓力擾動測試。

常見現象與參數修正

1、響應慢，流量達到目標時間很長：適度增大 P；P 已經最大依舊緩慢，檢查系統壓差是否滿足要求，后端管路容積是否過大。2、流量超調大，沖過設定值再回落：減小 P，同時減弱 I 積分作用。3、流量持續震蕩來回抖動：立刻降低 P，適當減弱 I；依舊抖動，增大內部信號濾波時間。4、穩態存在固定流量偏差：P 不變，適度加大 I 積分作用。

科賦樂 MFC 調參重要注意事項

1、不要一味追求最快響應速度，后端腔體容積大的系統，強行拉高 P 會持續震蕩，優先保證流量穩定。2、ST?500PI 壓力不敏感系列，內置壓力采集運算，不要把 PID 增益設置過高，否則壓力擾動時容易發生流量抖動。3、調參必須在實際氣體、實際管路下完成，在空載短管路調好的參數，上機整機之后需要重新復核調整。4、信號濾波和 PID 配合使用，噪聲大時優先增大濾波，不要依靠 D 微分去抑制抖動。5、如果調試失控，直接恢復出廠 PID 參數，不要繼續疊加修改參數。