一、產(chǎn)品概述

二、核心產(chǎn)品特點

1. 高壓區(qū)間高負荷穩(wěn)定抽氣

   在大氣壓至中真空區(qū)間抽氣性能優(yōu)異，能夠承受腔體頻繁破空、循環(huán)抽氣工況，有效縮短腔體抽氣時長，提升設備周轉效率。

2. 潔凈無油干式真空結構

   真空壓縮腔體不含潤滑油，杜絕油蒸汽返流污染工件，滿足鍍膜、精密元器件生產(chǎn)的潔凈工藝需求。

3. 結構可靠，運維成本低

   轉子非接觸式運轉，機械磨損?。徽麢C結構簡化優(yōu)化，故障率低，支持工廠長時間不間斷連續(xù)運行；可按需選配防爆電機，適配特殊防爆工況。

4. 標配軸封氮氣密封防護

   可通入氮氣作為軸封密封氣，阻擋水汽、少量揮發(fā)性介質侵入軸承與電機內部，拓寬適用工況范圍。

5. 水冷恒溫散熱，運行平穩(wěn)低噪

   一體化水冷散熱設計，有效控制泵體溫升；整機振動小、噪音低，適配廠房量產(chǎn)環(huán)境。

三、詳細性能參數(shù)

四、典型應用場景

1. 泛半導體 / 光電行業(yè)：濺射、蒸發(fā)鍍膜設備 Load Lock 進出料腔體前級抽氣；

2. 通用工業(yè)真空：中型腔體真空干燥、真空脫泡、罐體氣體置換、真空檢漏設備；

3. 科研實驗室：潔凈真空腔體、材料熱處理、中型真空測試平臺配套；

4. 新能源行業(yè)：潔凈工況電芯真空烘烤、物料脫氣工序。

五、選型區(qū)分對照

• GR90A：通用工業(yè)常溫羅茨干泵，無腔體加熱；適合潔凈氣體、頻繁破空抽氣；不適用含有大量升華物、鹵素腐蝕氣體的刻蝕 / CVD 工藝；

• HR90：半導體高溫工藝款，自帶腔體恒溫加熱，防止副產(chǎn)物結晶堵塞，適配刻蝕、CVD、ALD 等腐蝕工藝；

• LR90：半導體潔凈常溫羅茨泵，面向晶圓設備潔凈腔體；

• MS120A：螺桿工藝干泵，擅長排出粉塵，結構形式與羅茨泵不同。

六、可選配套配件