目錄:玉崎半導體(深圳)有限公司>>真空泵>> ULVAC 愛發科CR16B風冷多級羅茨干式真空泵
| 產地類別 | 進口 | 產品類型 | 無油泵 |
|---|---|---|---|
| 價格區間 | 2萬-3萬 | 儀器種類 | 真空泵 |
| 應用領域 | 醫療衛生,化工,生物產業,電子/電池,半導體 |
ULVAC 愛發科CR16B風冷多級羅茨干式真空泵ULVAC 愛發科CR16B風冷多級羅茨干式真空泵

無油潔凈真空輸出
泵腔內部無潤滑油,轉子與腔體非接觸運轉,杜絕油蒸汽返流污染工件,滿足小型鍍膜、精密樣品制備等高潔凈真空需求,規避油旋片泵返油問題。
空冷免配套,部署成本低
整機風冷散熱,無需敷設冷卻水水路,不需要持續軸封氮氣,通電即可運行,適合實驗室、小型設備、移動真空平臺安裝。
輕量化節能設計
搭載 DC 密封電機,能耗低,整機重量僅 35kg,自帶萬向腳輪,方便移位布局;內置集成消音器,運行噪音更低。
可選氣鎮機構,應對水汽工況
可加裝氣鎮閥,開啟后能夠抽取少量水蒸氣,適合輕度含水汽的真空干燥工序;氣鎮工況最大水蒸氣處理量<300g/h。
自帶監控與遠程通訊
機身配備運行計時表、故障報警指示燈,支持遠程啟停信號對接,可接入 PLC 自動化控制系統;產品通過 CE、cTUVus 國際安全認證。
科研實驗室領域:小型真空腔體、材料熱處理爐、真空檢漏臺、實驗室蒸鍍設備;
光電鍍膜行業:小型濺射、蒸發鍍膜設備前級真空抽氣;
通用工業真空:小型腔體真空干燥、氣體置換、潔凈工況真空脫泡;
分析儀器配套:各類理化分析設備、小型真空測試平臺前級泵。
CR16B:小型風冷羅茨干泵,免水冷、體積小巧,潔凈輕度水汽工況;不適合腐蝕氣體、大量粉塵工藝;
GR60A:中型水冷通用羅茨干泵,抽速更大,適合中型腔體頻繁抽氣;
HR60:半導體高溫工藝羅茨泵,帶腔體加熱防結晶,適配刻蝕、CVD 腐蝕工藝;
LS/MS 螺桿系列:螺桿結構,和羅茨泵結構不同,適合中大型產線工況。