IKC 入江工研 NS170?1 焊接波紋管產品簡介

NS 系列為 IKC 入江工研標準碟片焊接波紋管，采用超薄金屬膜片內外圈交替精密焊接成型，單體裸波紋管結構，無自帶法蘭，端部可由客戶自行焊接適配法蘭。全金屬氣密結構，無橡膠密封件，低釋氣，適配高真空、超高真空工況，可實現軸向伸縮位移，用于真空運動密封、位移補償、振動隔離，大量配套真空閥門、真空導入機構、半導體腔體設備。后綴數字代表循環壽命：?1=1 萬次，?10=10 萬次，?100=100 萬次。

IKC 入江工研 NS170?1 焊接波紋管核心參數

? 結構形式：碟片疊焊裸波紋管，無配套法蘭? 波紋管材質：SUS316L（NS 標準款）；可選 AM350 等效合金? 工作壓力：內部真空，外部大氣壓? 漏率：≤1×10?? Pa?m3/s? 使用溫度：常溫，烘烤最高 250℃? 位移形式：以軸向位移為主，可少量角度偏移? 循環壽命：1 萬 / 10 萬 / 100 萬次多種規格可選? 彈簧常數：隨內徑、外徑、膜片厚度、片數變化? 端部處理：Y 型焊接端頭，客戶可自行焊接法蘭接頭

產品特點

1. 碟片精密焊接工藝，同等尺寸下伸縮行程大，結構緊湊。

2. 全金屬結構，無有機橡膠部件，真空環境釋氣低，適配烘烤除氣工況。

3. 漏率指標優異，滿足高真空、超高真空系統密封要求。

4. 彈簧特性穩定，軸向伸縮線性好，疲勞壽命檔位齊全，方便選型。

5. 裸管設計，端部可自行焊接法蘭，適配多種設備安裝接口。

6. 耐等離子環境，耐腐蝕，適配半導體嚴苛工藝環境。

應用領域

半導體真空閥驅動密封、真空直線導入器、真空腔體位移補償、鍍膜蒸鍍設備、Loadlock 腔體、電子束設備、ALD 蝕刻設備、科研真空平臺、管路減震補償。

使用注意

1. 優先使用軸向位移，盡量減少大角度側向偏移，避免提前疲勞損壞。

2. 不可超出單塊最大允許位移，禁止超行程壓縮拉伸。

3. 烘烤溫度不允許超過 250℃，按規定速率升降溫。

4. 焊接裝配時做好保護，避免波紋管本體受熱損傷。

5. 根據實際往復次數選擇對應壽命等級型號。