日本原裝KOFLOC科賦樂PI質量流量控制器ST-500的應用

?核心技術參數
| ?傳感器類型? | 熱式繞線傳感器 | 基于熱傳導原理,直接測量氣體質量流量,非體積流量,不受溫壓波動影響 |
| ?閥門結構? | 電磁比例閥(斷電關閉型) | 安全設計,斷電自動關閉,防止氣體泄漏 |
| ?流量范圍? | 10 SCCM ~ 30 SLM(N?換算) | 覆蓋從微量到中等流量需求,適配多種工藝場景 |
| ?控制范圍? | 2% – 100% F.S. | 支持低流量穩定控制,避免“死區"誤差 |
| ?測量精度? | ±1% SP(10%–100% F.S.) ±0.1% F.S.(2%–10% F.S.) | 高精度區間覆蓋全量程,滿足半導體級工藝要求 |
| ?重復性? | ±0.2% F.S. | 長期運行穩定性優異,適合連續生產 |
| ?響應時間? | ≤2 秒(±2% F.S. 內) | 快速閉環控制,適應動態工藝需求 |
| ?PI壓力補償? | 實時壓力傳感+動態閥控 | 前置壓力傳感器檢測入口波動,自動修正閥門開度,實現?壓力無關型穩定控制? |
| ?最大耐壓? | 1 MPa(G) | 可承受工藝系統瞬時壓力沖擊 |
| ?入口最大壓力? | 300 kPa(G) | 建議工作壓差:F.S. < 5 SLM 時為 50–300 kPa |
| ?工作溫度? | 5 – 50 ℃ | 環境適應性強,支持潔凈室與普通車間 |
| ?精度保證溫度? | 15 – 35 ℃ | 標準校準溫區,確保出廠精度 |
| ?接觸材質? | SUS316、SUS316L | 全金屬密封結構,耐腐蝕、無顆粒脫落 |
| ?密封材料? | FKM(氟橡膠) | 兼容多種腐蝕性氣體(如Cl?、NH?、SiH?) |
| ?泄漏率? | <1.0×10?11 Pa·m3/sec(He) | 達到高真空系統級密封標準,杜絕微量泄漏污染 |
| ?電氣接口? | D-sub 9針 | 支持4–20mA、0–5VDC、1–5VDC模擬輸出,兼容主流PLC與控制器 |
| ?數字通信? | DeviceNet、RS485(MODBUS RTU) | 支持工業網絡集成,實現遠程監控與組態 |
| ?顯示界面? | 4位7段LED數碼管 | 實時顯示設定值、實際流量、單位切換 |
典型應用場景?
?半導體制造?:CVD、PVD、蝕刻、清洗工藝中的精確氣體配比控制,滿足10級潔凈室要求
?分析儀器?:質譜儀、氣相色譜儀的載氣與反應氣穩定供給
?燃料電池?:氫氣、氧氣的微流量精確分配,保障電堆效率
?實驗室研究?:材料合成、納米薄膜生長、氣體反應動力學實驗
?精細化工?:高純度氣體混合、微量添加劑注入、反應釜氣氛控制



