測量范圍

X(mm)

500

Y(mm)

400

Z(mm)

200【有效工件距離200mm，總高度290mm】

有效測量產(chǎn)品高度不能超過200mm

工作臺

金屬臺面尺寸(mm)

660ⅹ560

玻璃臺面尺寸(mm)

529ⅹ429

儀器重量(kg)

480

外型尺寸

（長ⅹ寬ⅹ高）（mm）

1060ⅹ760ⅹ960

儀器精度

測量精度

X,Y 軸≤（3+L/200）μm   Z軸≤（5+L/50）μm  

重復(fù)精度

≤（2+L/200）μm

X,Y正反向區(qū)段精度

≤（3+L/200）μm

X、Y、Z光柵分辨率

0.0005mm

影像系統(tǒng)

變焦物鏡倍率

0.7～4.5X

視頻總倍率

30X～180X

物方視場

7-1mm

測量軟件

軟件Inspect3D

軟件功能：                    

2D、2.5D元素測量：點(diǎn)、線、圓、圓弧、橢圓、距離、角度、矩形、O形環(huán)、槽型、開云線、閉云線、同心度、深度、平行度、對稱度、垂直度、高度、平面距、傾斜度。

3D元素測量：圓柱體、圓椎體、球體等。

組合元素測量：兩點(diǎn)距離、兩線距離、點(diǎn)到線距離、點(diǎn)到圓距離、線到圓距離、圓心距、兩線交點(diǎn)、組合角度、角平分線、兩線中線、三點(diǎn)組合圓、線圓切點(diǎn)。

電源

110V（AC）～220V(AC)      50HZ          總功率：1000W

使用環(huán)境

溫度：20±5℃            濕度：45%-65% 

優(yōu)勢特點(diǎn)：

影像系統(tǒng)采用高分辨率彩色CCD、成像優(yōu)良、清晰逼真、色彩飽滿。

光學(xué)鏡頭采用進(jìn)口高品質(zhì)光學(xué)組件,經(jīng)過多層光學(xué)鍍膜、耐油漬、耐腐蝕、光學(xué)衰減微小、長久使用仍然光亮清晰。

光源系統(tǒng)

表面光

智能程控五環(huán)八區(qū)光源（美國GREE進(jìn)口 LED燈珠）

輪廓光

智能程控LED平行光源

優(yōu)勢特點(diǎn)：

進(jìn)口LED環(huán)形冷光源五環(huán)八區(qū)設(shè)計(jì)，無極調(diào)節(jié)，光線細(xì)膩柔和，表面光成像明亮清晰。成像清晰，邊角分明，特別對軸類、圓弧類工件測量更加精準(zhǔn)。

傳動系統(tǒng)

導(dǎo)軌（xy軸）

交叉導(dǎo)軌 （防蠕動型）    （品牌：LB）

導(dǎo)軌（Z軸）

25線性導(dǎo)軌，雙導(dǎo)軌四滑塊（品牌：中國臺灣TBI）

絲桿

20研磨級滾珠絲桿        （品牌：中國臺灣TBI）

傳動結(jié)構(gòu)（xy軸）

采用整體共面的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)，傳動結(jié)構(gòu)與導(dǎo)軌同在一個(gè)整體平臺上，且正向水平安裝（無拼接和側(cè)向固定）

傳動結(jié)構(gòu)（Z軸）

采用中央驅(qū)動結(jié)構(gòu)，絲桿居兩根導(dǎo)軌中間，驅(qū)動四個(gè)滑塊上下運(yùn)行

控制器

CNC全閉環(huán)控制器（四軸）

伺服電機(jī)

XY采用高慣量全閉環(huán)伺服電機(jī)，Z軸采用高慣量抱閘伺服電機(jī)（品牌：日本尼得科）

電機(jī)驅(qū)動器：智能自適應(yīng)

安裝結(jié)構(gòu)

XYZ三軸均采用：BK端+BK端雙向固定方式，BK固定座內(nèi)置雙角接觸軸承。

優(yōu)勢特點(diǎn)：高耐磨性，精度高，速度快，持久精度穩(wěn)定，穩(wěn)定性高。

光柵尺

光柵分辨率0.001mm（VMS）

減震系統(tǒng)

減震腳

外徑120mm     厚度：40mm    數(shù)量：4個(gè)

總承載重量

6噸

優(yōu)勢特點(diǎn)：減震器的配置使儀器在有震動的使用環(huán)境之下或高速運(yùn)行的狀態(tài)下能夠使儀器獲得更高的精度、速度和穩(wěn)定性。

玻璃臺

平面度

≤0.02mm

優(yōu)勢特點(diǎn)：光學(xué)原片玻璃，微浮法工藝制造，經(jīng)過精密研磨，具有的平面度和透光率。

工作臺

材料

高度鑄鐵

結(jié)構(gòu)

三層全尺寸

工藝

自然時(shí)效，分時(shí)分序加工

裝配

尼康光學(xué)準(zhǔn)直儀調(diào)試精度

優(yōu)勢特點(diǎn)：三層工作臺設(shè)計(jì)，高度鑄鐵材料，經(jīng)過特殊的處理工藝，使材料內(nèi)部和表面具備了的硬度和穩(wěn)定性。長久的自然時(shí)效過程，使工作臺消除了內(nèi)應(yīng)力的變化，物理特性非常穩(wěn)定。

底座立柱

材料

機(jī)身濟(jì)南青天然花崗巖材料

精度

00級

優(yōu)勢特點(diǎn)：底座和立柱采用高精度天然花崗巖，00級研磨處理，物理特性穩(wěn)定，無內(nèi)應(yīng)力變化，使三軸具有相同的溫度特性和膨脹系數(shù)，保證儀器精度的長久性，可靠性和穩(wěn)定性。

項(xiàng)目

序號

配件名稱

技術(shù)參數(shù)及性能

品牌

影像系統(tǒng)

1

CCD攝相機(jī)

彩色1/2"高清相機(jī)

日本森泰克

2

光學(xué)鏡頭

多層光學(xué)鍍膜   0.7-4.5X高清自動變倍鏡頭

PMS普米斯

光源系統(tǒng)

3

表面光

五環(huán)八區(qū)

美國GREE燈珠

4

輪廓光

平行光

傳

動

系

統(tǒng)

5

控制器

四軸全閉環(huán)

VMS

6

伺服電機(jī)

高精度全閉環(huán)伺服電機(jī)

日本尼得科

7

驅(qū)動器

智能自診斷驅(qū)動器

8

線性導(dǎo)軌

研磨P級

中國臺灣TBI

9

滾珠絲桿

研磨C3級

中國臺灣TBI

10

電機(jī)座

一體式C3級雙角接觸軸承

日本NTN

11

支撐座

一體式C3級

VMS

12

螺母座

研磨級鋼制

13

搖桿

3軸

14

限位開關(guān)

WC5

邦拓斯

光柵尺

15

光柵尺

分辨率0.001mm

VMS

玻璃

16

玻璃

529*429mm

工作臺

17

材料

高鑄鐵

18

結(jié)構(gòu)

三層全尺寸

底座立柱

19

底座

00級天然花崗巖

濟(jì)南青

20

立柱

00級天然花崗巖

減震

21

減震

高穩(wěn)定雙層結(jié)構(gòu)減震臺

VMS

電腦

22

電腦

英特爾i3處理器，512GB固態(tài)硬盤

戴爾

顯示器

23

顯示器

24寸顯示器