日本takano 晶圓表面檢測(cè)設(shè)備WM系列的產(chǎn)品介紹

來源：深圳九州工業(yè)品有限公司 2024年08月08日 11:23

無圖案300mm晶圓表面檢測(cè)系統(tǒng)

WM-10R是300mm晶圓的標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)

是48nm的高靈敏度檢測(cè)系統(tǒng)。

WM - 10R is a standard model of 300 mm wafer.It is a high sensitivity inspection system of 48 nm.

200mm以下無圖案晶圓表面檢測(cè)系統(tǒng)

WM-7系列是200毫米晶圓尺寸以下最的合理的高性能型號(hào)。

WM - 7 series is the most reasonable high - performance model below 200 mm wafer size.

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