手機版
化工儀器網手機版
化工儀器網小程序
官方微信
公眾號：chem17
掃碼關注視頻號
日本 JFE FiDiCa S 系列膜厚分布測量裝置介紹
日本 JFE FiDiCa S 系列膜厚分布測量裝置，是專為半導體與薄膜工藝設計的量產級高速膜厚檢測設備，支持從薄膜到極厚膜的寬量程測量，適配從研發到缺陷檢查的全流程應用。
系列包含三種核心型號，覆蓋不同膜厚需求：
薄膜型號：測量范圍 50nm~20μm，約 400 萬點 / 次，空間分辨率約 50~150μm。
厚膜型號：測量范圍 1μm~100μm，約 150 萬點 / 次，空間分辨率約 80~250μm。
極厚膜型號：測量范圍 20μm~800μm，約 100 萬點 / 次，空間分辨率約 100~300μm。
設備支持 4~12 英寸晶圓及 A4 尺寸樣品檢測，單晶圓測量速度控制在 2 分鐘以內，高效完成全片掃描。重復再現性優異，薄膜 / 厚膜型號 3σ<1.0nm（1μm SiO?膜條件下），極厚膜型號 3σ<10nm，確保數據穩定性。裝置尺寸約 W810×D820~880×H2000 毫米，適配大規模生產環境部署。
裝置可檢測 SiO?膜、濺射膜、抗蝕劑、液膜、油膜、涂層膜等多種薄膜，以及晶圓、PET 薄膜、玻璃等基板材料的膜厚分布，通過直觀的彩色分布圖呈現膜厚均勻性，助力工藝優化與缺陷分析。
憑借高速測量、多量程兼容、量產級適配與高精度數據輸出的優勢，JFE FiDiCa S 系列成為半導體與薄膜工藝膜厚分布檢測的理想設備，助力企業提升生產效率與產品良率。
免責聲明
- 凡本網注明“來源：化工儀器網”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網絡有限公司-化工儀器網合法擁有版權或有權使用的作品，未經本網授權不得轉載、摘編或利用其它方式使用上述作品。已經本網授權使用作品的，應在授權范圍內使用，并注明“來源：化工儀器網”。違反上述聲明者，本網將追究其相關法律責任。
- 本網轉載并注明自其他來源（非化工儀器網）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網贊同其觀點和對其真實性負責，不承擔此類作品侵權行為的直接責任及連帶責任。其他媒體、網站或個人從本網轉載時，必須保留本網注明的作品第一來源，并自負版權等法律責任。
- 如涉及作品內容、版權等問題，請在作品發表之日起一周內與本網聯系，否則視為放棄相關權利。
采購中心