一、技術規格

核心鍍膜體系參數

• 成膜原理：空心陰極低壓 DC 輝光放電 CVD 鋨鍍膜，放電電壓≤700V 低壓區間

• 樣品腔規格：內徑 φ120mm、腔高 90mm 硬質真空玻璃腔體

• 空心陰極筒：內徑 φ105mm、深度 37mm，全域均勻高密度等離子體

• 浮動樣品臺：直徑 φ50mm，兼容塊狀、粉末、薄膜、切片多形態試樣

• 適配鋨源：標準鋨安瓿試劑，耗材消耗量低，活性炭尾氣吸附回收未反應鋨蒸汽

• 成膜特征：無定形超細鋨膜，無金 / 鉑鍍膜晶粒粗大問題，適配超高倍率電鏡觀測

真空與動力配置

• 配套真空泵：G-50DA 專用旋片泵，抽速 50L/min

• 整機供電：AC100V 單相 15A

• 控制面板：雙表頭（真空 / 放電電壓）+ 調壓旋鈕，全手動時序控制鍍膜時長

• 安全尾氣處理：內置活性炭捕集器，吸附有毒鋨蒸汽，降低通風櫥依賴

機身尺寸與重量

• 主機外形：W200×D350×H375mm，主機凈重 15.5kg

• 真空泵單元：W156×D341×H200mm，泵體 12kg，可分體擺放節省臺面

標準 / 選配配件

1. 標配：鍍膜主機、G-50DA 真空旋片泵、鋨試劑安瓿、活性炭吸附芯、真空密封配件、操作手冊

2. 選配：OSK 安瓿破碎機構、OST-20 專用鋨捕集器、外置通風罩、樣品旋轉支架、厚度監控程序 SPG-20

二、工作原理

三、現場使用優勢

1. 空心陰極全域等離子，復雜凹凸樣品全覆蓋

2. ≤700V 低壓放電，軟質樣品低損傷

3. 無定形超細鋨膜，超高倍率電鏡無晶粒干擾

4. 活性炭尾氣吸附，實驗室安全環保

5. 經濟型手動機型，中小實驗室采購友好

6. 浮動大樣品臺，兼容多種制樣載體

7. 分體式真空泵，臺面布局靈活

四、適用場景

• 生物醫學電鏡觀測：細胞切片、軟組織、凝膠、微生物低損傷導電預處理

• 高分子材料研發：塑料、樹脂、泡沫多孔材料、薄膜 FE-SEM 超高倍率制樣

• 納米粉體 / 填料表征：碳粉、無機礦物、催化劑粉末均勻鍍膜，消除荷電效應

• 半導體微電子：晶圓微小線路、光刻膠、有機光刻層無損傷導電處理

• 地質礦物實驗室：多孔巖石、黏土、礦物薄片全域導電鍍膜

• 高校共享電鏡平臺：大批量學生試樣快速低成本預處理，日常常態化使用

• TEM 透射樣品前處理：超薄切片、碳膜載網均勻薄鋨修飾，提升襯度

五、日常維護

1. 每次鍍膜結束清理真空玻璃腔體內壁鋨沉積物，避免透光變差、等離子分布不均；

2. 活性炭吸附芯定期更換，飽和后失去鋨蒸汽吸附能力，存在環保安全隱患；

3. 真空密封圈、玻璃腔密封膠圈每月檢查，出現漏氣及時更換，保證等離子穩定；

4. 空心陰極筒內壁沉積過厚鋨層時做清潔處理，防止等離子放電偏移、鍍膜不均；

5. 真空泵定期更換專用真空油，維持 50L/min 標準抽速，縮短腔體抽真空等待時間；

6. 禁止長時間超高電壓空載放電，避免陰極筒老化縮短使用壽命；

7. 長期停機前通入干燥氮氣吹掃腔體，去除殘留鋨蒸汽，防塵防潮存放。